[实用新型]一种MEMS芯片及包括该芯片的MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201821519904.5 | 申请日： | 2018-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN208675538U | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 邱俊峰;刘波 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 王喆 |
| 地址： | 266100 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS芯片及包括该芯片的MEMS麦克风，包括具有侧壁部的衬底，在所述衬底上设置有由振膜以及背极构成的平板电容器结构；所述侧壁部包括有由侧壁部内表面向内凹陷形成的内陷部，该内陷部贯穿所述侧壁部的底面形成储胶槽。本实用新型通过对MEMS芯片结构的改进，解决了MEMS麦克风中MEMS芯片与基板粘接固定时出现爬胶现象，进而影响振膜振动，造成麦克风性能失效的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 侧壁部 本实用新型 衬底 内陷 芯片 侧壁部内表面 平板电容器 麦克风 基板粘接 爬胶现象 向内凹陷 振膜振动 储胶槽 背极 底面 振膜 贯穿 改进 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS芯片，包括具有侧壁部的衬底，在所述衬底上设置有由振膜以及背极构成的平板电容器结构；其特征在于，所述侧壁部包括有由侧壁部内表面向内凹陷形成的内陷部，该内陷部贯穿所述侧壁部的底面形成储胶槽。
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