[实用新型]一种新型半导体行业废水过滤系统

摘要

本实用新型公开的一种新型半导体行业废水过滤系统，包括废液存储装置、一级循环过滤单元和二级过滤单元，所述废液存储装置、一级循环过滤单元和二级过滤单元依次通过管路连接。与现有技术相比，本实用新型提供的一种新型半导体行业废水过滤系统，采用物理性过滤，减少药剂费用，不投入药剂对废水的影响小，通过复合膜过滤装置后的废液再经超滤膜装置进行净化处理，保证回用水的水质稳定，净化处理后的废水可循环利用；而经复合膜过滤装置过滤下的浓液再经袋式过滤装置进行过滤后再重复经过复合膜过滤装置循环过滤，降低浊度，去除水中的颗粒物再进行超滤膜装置的净化处理，如此不断循环过滤，节省资源，具有一定的经济效益。

主权项

1.一种新型半导体行业废水过滤系统，其特征在于：包括废液存储装置、一级循环过滤单元和二级过滤单元，所述废液存储装置、一级循环过滤单元和二级过滤单元依次通过管路连接，所述一级循环过滤单元包括复合膜过滤装置、浓液存储装置和袋式过滤装置，所述复合膜过滤装置入料口与所述废液存储装置的出料口连通，所述浓液存储装置在所述复合膜过滤装置和袋式过滤装置之间，所述浓液存储装置的出料口与所述袋式过滤装置的入料口连接，所述袋式过滤装置出料口再与所述复合膜过滤装置连通进行循环过滤；所述二级过滤单元与所述复合膜过滤装置连通。