[实用新型]一种新型半导体行业废水过滤系统

说明书

本实用新型公开的一种新型半导体行业废水过滤系统，包括废液存储装置、一级循环过滤单元和二级过滤单元，所述废液存储装置、一级循环过滤单元和二级过滤单元依次通过管路连接。与现有技术相比，本实用新型提供的一种新型半导体行业废水过滤系统，采用物理性过滤，减少药剂费用，不投入药剂对废水的影响小，通过复合膜过滤装置后的废液再经超滤膜装置进行净化处理，保证回用水的水质稳定，净化处理后的废水可循环利用；而经复合膜过滤装置过滤下的浓液再经袋式过滤装置进行过滤后再重复经过复合膜过滤装置循环过滤，降低浊度，去除水中的颗粒物再进行超滤膜装置的净化处理，如此不断循环过滤，节省资源，具有一定的经济效益。

技术领域

本实用新型涉及废水处理系统技术领域，具体是一种新型半导体行业废水过滤系统。

背景技术

半导体行业的研磨废水，常规工艺是通过投加混凝剂以及絮凝剂等药剂使废水中的细小悬浮物聚集成沉淀物从而与水分离出来，如此通过一级或二级反应之后的废水可以达到排放标准排放，污泥通过压滤机压滤后送交有资质的单位进行处理。采用传统方法处理半导体行业研磨废水需要投加多种药剂进行反应，投加量也较大，因此产生较高的药剂费用，而且废水由于加药量较大，经过沉淀后会产生大量的污泥，通过压滤之后污泥量也极大，相应的产生较高的污泥处理费用，通常采用加多种药剂的处理方法由于需要建造各种水池与设备间，所需占地面积较大。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型半导体行业废水过滤系统，以解决背景技术中的技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种新型半导体行业废水过滤系统，包括废液存储装置、一级循环过滤单元和二级过滤单元，所述废液存储装置、一级循环过滤单元和二级过滤单元依次通过管路连接，所述一级循环过滤单元包括复合膜过滤装置、浓液存储装置和袋式过滤装置，所述复合膜过滤装置入料口与所述废液存储装置的出料口连通，所述浓液存储装置在所述复合膜过滤装置和袋式过滤装置之间，所述浓液存储装置的出料口与所述袋式过滤装置的入料口连接，所述袋式过滤装置出料口再与所述复合膜过滤装置连通进行循环过滤；所述二级过滤单元与所述复合膜过滤装置连通。

所述二级过滤单元包括超滤膜装置和清液回收装置，所述超滤膜装置的出料口与所述清液回收装置的入料口连通，所述复合膜过滤装置与所述超滤膜装置连通。

所述袋式过滤装置的出料口与所述复合膜过滤装置之间还设有中间池，所述中间池用于放置经所述袋式过滤装置过滤后的液体。

所述袋式过滤装置外接有固体回收装置，用于回收过滤后的固体颗粒物。

所述浓液存储装置与复合膜过滤装置之间、所述复合膜过滤装置与浓液存储装置之间、所述浓液存储装置与袋式过滤装置之间、所述袋式过滤装置与中间池之间、所述中间池与复合膜过滤装置之间、所述复合膜过滤装置与超滤膜装置之间、所述超滤膜装置与清液回收装置之间均设有提升水泵。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种新型半导体行业废水过滤系统，采用物理性过滤，减少药剂费用，不投入药剂对废水的影响小，通过复合膜过滤装置后的废液再经超滤膜装置进行净化处理，保证回用水的水质稳定，净化处理后的废水可循环利用；而经复合膜过滤装置过滤下的浓液再经袋式过滤装置进行过滤后再重复经过复合膜过滤装置循环过滤，降低浊度，去除水中的颗粒物再进行超滤膜装置的净化处理，如此不断循环过滤，节省资源，具有一定的经济效益。

附图说明

图1：一种新型半导体行业废水过滤系统示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。