[实用新型]X射线光电子能谱原位电场样品台

摘要

本实用新型公开了一种X射线光电子能谱原位电场样品台。所述的样品台包括：依次导热连接的样品固定机构、固定连接机构和支撑连接机构，固定连接机构至少用以将样品台固定于样品座上，并能够与X射线光电子能谱仪的样品座导电导热接触；样品固定机构上设置有控制芯片和用以安置样品的样品固定部；支撑连接机构固定连接于固定连接机构的下方，且支撑连接机构与固定连接机构相互绝缘，且支撑连接机构的高度和倾斜度可调；以及，支撑连接机构还经导线与控制芯片连接。本实用新型提供的样品台能够在样品需测试位置处添加电学信号，进行材料的电学性能和电子结构及结合能的研究；配合仪器的原位制冷和加温功能，可以实现XPS原位高低温电学性能测试。

主权项

1.一种X射线光电子能谱原位电场样品台，其特征在于包括：固定连接机构，其具有背对设置的第一表面和第二表面，所述固定连接机构至少用以将样品台固定于X射线光电子能谱仪的样品座上，并能够与X射线光电子能谱仪的样品座导电导热接触，在所述固定连接机构上还设置有能够与送样杆连接的固定柱；样品固定机构，其导热固定连接于固定连接机构的第一表面上，且在所述样品固定机构上还设置有控制芯片和用以安置样品的样品固定部；支撑连接机构，其固定连接于固定连接机构的第二表面上，且所述支撑连接机构与固定连接机构相互绝缘，所述支撑连接机构能够与X射线光电子能谱仪的真空腔体导电接触，且所述支撑连接机构的高度和倾斜度可调；以及，所述支撑连接机构还经导线与控制芯片连接。