[实用新型]单晶硅棒清洗脱胶装置有效
申请号: | 201821453914.3 | 申请日: | 2018-09-06 |
公开(公告)号: | CN208810723U | 公开(公告)日: | 2019-05-03 |
发明(设计)人: | 邱小永 | 申请(专利权)人: | 浙江贝盛新材料科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B3/02;B08B3/14;B08B3/10;B08B13/00 |
代理公司: | 杭州新源专利事务所(普通合伙) 33234 | 代理人: | 李大刚 |
地址: | 313009 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了单晶硅棒清洗脱胶装置,它包括箱体,箱体的中部设置有隔板;箱体的底部连接有超声波发生器,超声波发生器上连接有多个均匀设置在隔板上的超声波换能器;隔板上方设置有清洗框,清洗框的底端设有多个放置槽;清洗框和隔板之间设置有主动轴和从动轴,主动轴和从动轴之间设置有传送皮带;清洗框的上方设置有顶盖,顶盖的一侧与箱体顶端的一侧铰接,顶盖上对应每个放置槽上方的位置处均设置有多个喷头;所述喷头上连接有进水管,进水管上连接有调节阀。本实用新型不仅能够提高清洗效果,还具有单晶硅棒损耗较小和用水较省的优点。 | ||
搜索关键词: | 隔板 清洗框 单晶硅棒 顶盖 超声波发生器 本实用新型 脱胶装置 从动轴 放置槽 进水管 主动轴 清洗 超声波换能器 喷头 传送皮带 底部连接 均匀设置 清洗效果 箱体顶端 位置处 底端 铰接 | ||
【主权项】:
1.单晶硅棒清洗脱胶装置,其特征在于:包括箱体(1),箱体(1)的中部设置有隔板(2);箱体(1)的底部连接有超声波发生器(3),超声波发生器(3)上连接有多个均匀设置在隔板(2)上的超声波换能器(4);隔板(2)上方设置有清洗框(5),清洗框(5)的底端设有多个放置槽(6);清洗框(5)和隔板(2)之间设置有主动轴(7)和从动轴(8),主动轴(7)和从动轴(8)之间设置有传送皮带(9),放置槽(6)与传送皮带(9)的传送方向垂直;主动轴(7)的一侧连接有驱动电机(10),驱动电机(10)设置在箱体(1)外侧;清洗框(5)的上方设置有顶盖(11),顶盖(11)的一侧与箱体(1)顶端的一侧铰接,顶盖(11)上对应每个放置槽(6)上方的位置处均设置有多个喷头(12);所述喷头(12)上连接有进水管(13),进水管(13)上连接有调节阀(14)。
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