[实用新型]一种坩埚驱动机构有效
| 申请号： | 201821439868.1 | 申请日： | 2018-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN208949447U | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 陈世斌 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 罗焕清 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种坩埚驱动机构，包括底座、机架以及坩埚轴，所述机架设置在所述底座上，所述机架上设置有导轨，所述坩埚轴通过固定座固定在所述导轨上，所述固定座与所述导轨滑动连接；所述机架上设置有用于控制所述固定座升降的升降机构，所述固定座底部设置有底盘，所述固定座与所述坩埚轴之间设置有轴承座，所述轴承座内设置有空腔；所述固定座上还设置有用于控制所述坩埚轴旋转的旋转机构；所述坩埚轴包括设置在所述轴承座内的支撑部和设置在所述支撑部顶端的连接部，所述连接部与所述支撑部同心设置并且通过第一法兰盘连接。本实用新型提供的坩埚驱动机构具有方便对坩埚轴进行拆卸的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 固定座 坩埚轴 驱动机构 轴承座 导轨 坩埚 本实用新型 底座 支撑部顶端 滑动连接 升降机构 同心设置 旋转机构 法兰盘 底盘 支撑 拆卸 升降 | ||
【主权项】：
1.一种坩埚驱动机构，其特征在于，包括底座(1)、机架(2)以及坩埚轴(3)，所述机架(2)设置在所述底座(1)上，所述机架(2)上设置有导轨，所述坩埚轴(3)通过固定座(4)固定在所述导轨上，所述固定座(4)与所述导轨滑动连接；所述机架(2)上设置有用于控制所述固定座(4)升降的升降机构，所述固定座(4)底部设置有底盘(61)，所述固定座(4)与所述坩埚轴(3)之间设置有轴承座(62)，所述轴承座(62)内设置有空腔；所述固定座(4)上还设置有用于控制所述坩埚轴(3)旋转的旋转机构；所述坩埚轴(3)包括设置在所述轴承座(62)内的支撑部(31)和设置在所述支撑部(31)顶端的连接部(32)，所述连接部(32)与所述支撑部(31)同心设置并且通过第一法兰(33)盘连接。
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