[实用新型]一种微位移装置及系统有效
| 申请号： | 201821392511.2 | 申请日： | 2018-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN208754204U | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 路崧;王瑾;曹锋;刘正锋;周成全;孙建聪;游佳明;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H02N2/02 | 分类号： | H02N2/02;H02N2/04 |
| 代理公司： | 深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及纳米微定位技术领域，具体涉及一种微位移装置及系统，所述微位移装置包括平台主体，以及设置在平台主体上的运动平台、用于驱动运动平台相对于平台主体进行微位移的驱动组件以及桥式放大结构，所述驱动组件包括至少两个依次连接的压电陶瓷，且任一相邻的所述压电陶瓷通过桥式放大结构连接，所述驱动机构与运动平台之间也通过桥式放大结构连接。本实用新型通过设计一种微位移装置及系统，利用压电陶瓷的逆压电效应以及桥式放大结构的位移放大性能，将电能转换为机械高线性度位移，具有大行程和很小的径向偏差，进一步地，通过多级设置的压电陶瓷提高位移放大倍数。 | ||
| 搜索关键词： | 微位移装置 放大结构 压电陶瓷 桥式 平台主体 本实用新型 驱动组件 位移放大 运动平台 驱动运动平台 逆压电效应 电能转换 多级设置 高线性度 径向偏差 驱动机构 依次连接 大行程 微定位 微位移 | ||
【主权项】：
1.一种微位移装置，其特征在于：所述微位移装置包括平台主体，以及设置在平台主体上的运动平台、用于驱动运动平台相对于平台主体进行微位移的驱动组件以及桥式放大结构，所述驱动组件包括至少两个依次连接的压电陶瓷，且任一相邻的所述压电陶瓷通过桥式放大结构连接，所述驱动组件与运动平台之间也通过桥式放大结构连接。
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