[实用新型]PVD电弧离子镀检测烧弧装置有效
| 申请号： | 201821373646.4 | 申请日： | 2018-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN208701192U | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 陈家锐;陈万久 | 申请（专利权）人： | 东莞索坤莱工业装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人： | 詹晓云 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种PVD电弧离子镀检测烧弧装置，其包括绝缘座、直流中间继电器、引入电杆、连接片和连接螺杆，连接片的一端通过连接螺杆固定在屏敝罩的边缘，绝缘座对应连接片的另一端位置固定在弧靶底座上，引入电杆固定绝缘座的安装孔上，且该引入电杆的一端与连接片的另一端相连接，引入电杆的另一端与直流中间继电器相连接，直流中间继电器与电弧电源相连接；当屏蔽罩有烧弧现象时，直流中间继电器动作，进而切断电弧电源的控制线路，电弧靶停止工作，避免了烧弧现象进一步发生，不仅可以避免屏蔽罩完全烧熔的问题，减少损失，还可以避免烧到绝缘材料，不产生大量杂质气体，避免工件污染，另外整体结构简单，易于实现，利于广泛推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 直流中间继电器 连接片 电杆 引入 电弧离子镀 电弧电源 连接螺杆 绝缘座 屏蔽罩 本实用新型 固定绝缘座 另一端位置 绝缘材料 控制线路 杂质气体 安装孔 电弧靶 屏敝罩 检测 烧熔 底座 污染 | ||
【主权项】：
1.一种PVD电弧离子镀检测烧弧装置，其特征在于，其包括绝缘座、直流中间继电器、引入电杆、连接片和连接螺杆，连接片的一端通过连接螺杆固定在屏敝罩的边缘，所述绝缘座对应连接片的另一端位置固定在弧靶底座上，该绝缘座上设有用来安装所述引入电杆的安装孔，引入电杆固定该安装孔上，且该引入电杆的一端与连接片的另一端相连接，引入电杆的另一端与直流中间继电器相连接，直流中间继电器与电弧电源相连接。
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