[实用新型]基板研磨装置有效
| 申请号： | 201821329845.5 | 申请日： | 2018-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN209036273U | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 李根雨;朴成贤 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健;张国香 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开一种基板研磨装置和基板研磨系统。根据一个实施例的基板研磨装置可包括：研磨单元，其对基板的被研磨面进行研磨；以及辅助研磨单元，其用于对所述基板的边缘区域进行研磨。 | ||
| 搜索关键词： | 基板研磨装置 研磨单元 研磨 边缘区域 基板研磨 对基板 研磨面 基板 | ||
【主权项】：
1.一种基板研磨装置，其包括：研磨单元，其对基板的被研磨面进行研磨；辅助研磨单元，其用于对所述基板边缘区域进行研磨；所述研磨单元包括研磨头和研磨垫，研磨头位于所述基板上部，研磨垫附着于所述研磨头，与所述基板相接触的同时对所述被研磨面进行研磨，所述辅助研磨单元包括辅助研磨头和辅助研磨垫，辅助研磨头位于所述基板上部，辅助研磨垫附着于所述辅助研磨头，与所述基板相接触的同时对所述被研磨面进行研磨。
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