[实用新型]一种厚度可调超声波清洗与镀膜一体夹具

摘要

本实用新型涉及光学真空镀膜领域，具体涉及一种厚度可调超声波清洗与镀膜一体夹具，包括长方形的下载板和上盖板，下载板上表面开有横向和竖向垂直相交的格子形导水槽，导水槽的每个格子顶点上开有贯穿的基片载孔，基片载孔包括由上而下的同中心轴圆柱形容置腔和喇叭形开口，圆柱形容置腔半径大于喇叭形开口顶部半径；下载板四角开有相同的螺纹固定通孔，上盖板为与下载板水平面镜向对称结构，下载板与上盖板通过穿过对应的螺纹固定通孔的连接件固定连接。本实用新型设计巧妙，将基片超声波清洗和镀膜夹具融为一体，免除基片在重复清洗和镀膜过程中的多次上盘和下盘操作，节省时间，提高效率，且不会造成基片损伤。本实用新型具有潜在市场价值。

主权项

1.一种厚度可调超声波清洗与镀膜一体夹具，其特征在于：包括长方形的下载板和上盖板，所述下载板上表面开有横向和竖向垂直相交的格子形导水槽，所述导水槽的每个格子顶点上开有贯穿的基片载孔，所述基片载孔包括由上而下的同中心轴的圆柱形容置腔和喇叭形开口，所述圆柱形容置腔半径大于所述喇叭形开口顶部半径；所述下载板四角开有相同的螺纹固定通孔，所述上盖板为与所述下载板水平面镜向对称结构，所述下载板与上盖板通过穿过对应的所述螺纹固定通孔的连接件固定连接。