[实用新型]一种防止受热变形的硅片倒角机

摘要

本实用新型公开了一种防止受热变形的硅片倒角机，属于硅片加工技术领域，包括机架和箱体，箱体内设置有呈片装置、冷却液箱、PLC控制箱和转动机构，冷却液箱位于转动机构上方，冷却液箱固定在箱体内壁上，冷却液箱下部设置喷淋管，转动电机箱固定设置在箱体上，转动电机安装在转动电机箱内，转动电机输出端连接转动联轴器，转动联轴器另一端连接砂轮，PLC控制箱包括显示屏、按钮和PLC控制器，显示屏和按钮均与PLC控制器相连，PLC控制器还与纵向伺服电机、横向伺服电机、呈片电机和转动电机相连。本实用新型具有加工尺寸广、防止硅片受热变形和自动化程度更高等优点。

主权项

1.一种防止受热变形的硅片倒角机，包括机架（1）和箱体（2），其特征在于：所述箱体（2）内设置有呈片装置（3）、冷却液箱（4）、PLC控制箱（5）和转动机构，所述呈片装置（3）包括基座（6）、移动板（7）、横向移动机构、纵向移动机构、安装板（8）、横向固定块（9）、纵向固定块（10）、固定块支柱（11）、呈片电机（12）、呈片联轴器（13）和真空吸盘（14）；所述横向移动机构包括横向伺服电机（15）、横向电机传动座、横向滚珠丝杆（16）、横向固定座（17）、横向螺母座、2条横向导轨（18）和4个横向滑块，所述2条横向导轨（18）设置在基座（6）上，所述每条横向导轨（18）上设置2个横向滑块，所述横向导轨（18）之间固定设置有横向固定座（17），所述横向固定座（17）与横向滚珠丝杆（16）通过螺母相连，所述横向滚珠丝杆（16）上套设横向螺母座，所述横向滚珠丝杆（16）远离横向固定座（17）一端连接有横向电机传动座，所述横向传动座和横向伺服电机（15）相连，所述横向螺母座上固定连接移动板（7），所述移动板（7）通过横向滑块跟横向导轨（18）滑动连接；所述纵向移动机构包括纵向伺服电机（19）、纵向电机传动座、纵向滚珠丝杆（20）、纵向固定座（21）、纵向螺母座、2条纵向导轨（22）和4个纵向滑块，所述2条纵向导轨（22）设置在移动板（7）上，所述每条纵向导轨（22）上设置2个纵向滑块，所述纵向导轨（22）之间固定设置有纵向固定座（21），所述纵向固定座（21）与纵向滚珠丝杆（20）通过螺母相连，所述纵向滚珠丝杆（20）上套设纵向螺母座，所述纵向滚珠丝杆（20）远离纵向固定座（21）一端连接有纵向电机传动座，所述纵向传动座和纵向伺服电机（19）相连，所述纵向螺母座上固定连接安装板（8），所述安装板（8）通过纵向滑块跟纵向导轨（22）滑动连接，所述横向固定座（17）和纵向固定座（21）中部均设置有指针；所述安装板（8）上固定设置呈片电机（12），所述呈片电机（12）输出端连接呈片联轴器（13），所述呈片联轴器（13）另一端连接连接真空吸盘（14）；所述基座（6）上设置固定块支柱（11），所述固定块支柱（11）上设置横向固定块（9）和纵向固定块（10），所述横向固定块（9）和纵向固定块（10）相连，所述横向固定块（9）和纵向固定块（10）上设置有刻度；所述冷却液箱（4）位于转动机构上方，所述冷却液箱（4）固定在箱体（2）内壁上，所述冷却液箱（4）下部设置喷淋管（23）；所述转动机构包括转动电机（24）、转动联轴器（25）、砂轮（26）和转动电机箱（27），所述转动电机箱（27）固定设置在箱体（2）上，所述转动电机（24）安装在转动电机箱（27）内，所述转动电机（24）输出端连接转动联轴器（25），所述转动联轴器（25）另一端连接砂轮（26）；所述PLC控制箱（5）包括显示屏（28）、按钮（29）和PLC控制器，所述显示屏（28）和按钮（29）均与PLC控制器相连，所述PLC控制器还与纵向伺服电机（19）、横向伺服电机（15）、呈片电机（12）和转动电机（24）相连。