[实用新型]一种高纯特种气体的置换面板

摘要

本实用新型公开了一种高纯特种气体的置换面板，涉及高纯特种气体领域，包括连接管、高压氦气管、低压氦气管、排气管、抽气管、高压氦气储存装置、尾气处理装置、真空泵、高压氦气阀、减压阀、低压氦气阀、排空阀、隔断阀；所述高压氦气管、低压氦气管、排气管、抽气管并联设置，共同连接所述连接管；所述高压氦气管、低压氦气管均连接所述高压氦气储存装置，所述高压氦气管上设有高压氦气阀，所述低压氦气管上设有减压阀和低压氦气阀；所述排气管连接所述尾气处理装置，所述排气管上设有排空阀；所述抽气管连接所述真空泵；所述连接管上设有第四压力表和隔断阀。本实用新型的优点在于：保证产品的纯度和工作环境的安全性。

主权项

1.一种高纯特种气体的置换面板，其特征在于：包括连接管(14)、高压氦气管(15)、低压氦气管(16)、排气管(17)、抽气管(18)、高压氦气储存装置(19)、尾气处理装置(20)、真空泵(21)、高压氦气阀(26)、减压阀(27)、低压氦气阀(28)、排空阀(29)、隔断阀(32)；所述高压氦气管(15)、低压氦气管(16)、排气管(17)、抽气管(18)并联设置，共同连接所述连接管(14)；所述高压氦气管(15)、低压氦气管(16)均连接所述高压氦气储存装置(19)，所述高压氦气管(15)上设有高压氦气阀(26)，所述低压氦气管(16)上设有减压阀(27)和低压氦气阀(28)；所述排气管(17)连接所述尾气处理装置(20)，所述排气管(17)上设有排空阀(29)；所述抽气管(18)连接所述真空泵(21)；所述连接管(14)上设有第四压力表(25)和隔断阀(32)。