[实用新型]一种半导体晶片的检测装置

摘要

本实用新型公开了一种半导体晶片的检测装置，包括转台、检测盒、固定槽、橡胶吸头、安装台、光路收集装置、投射灯、环形滑轨、环形滑槽、基座、操作槽、橡胶气囊、气管、环形齿条、磁铁片、转动电机和齿轮，所述基座上表面中心处固定有安装台，所述基座上表面位于安装台外侧套有转台，所述安装台外侧固定有环形滑轨，此半导体晶片检测装置，通过橡胶气囊的形变恢复力，对晶片产生吸附力，实现固定，取出晶片时，用手按压橡胶气囊，方便的取出，提高晶片的安装与拆卸的便捷度，加快检测速度，同时检测盒为黑色塑料盒检测盒将被检测晶片遮住，黑色吸收其他光源，避免干扰检测的效果，提高检测精度。

主权项

1.一种半导体晶片的检测装置，包括转台(1)、检测盒(2)、固定槽(3)、橡胶吸头(4)、安装台(5)、光路收集装置(7)、投射灯(8)、环形滑轨(9)、环形滑槽(10)、基座(11)、操作槽(12)、橡胶气囊(13)、气管(14)、环形齿条(15)、磁铁片(16)、转动电机(17)和齿轮(18)，其特征在于：所述基座(11)上表面中心处固定有安装台(5)，所述基座(11)上表面位于安装台(5)外侧套有转台(1)，所述安装台(5)外侧固定有环形滑轨(9)，所述转台(1)外侧固定有环形滑槽(10)，且环形滑轨(9)与环形滑槽(10)滑动连接，所述转台(1)底面边缘处固定有环形齿条(15)，所述基座(11)一侧安装有转动电机(17)，所述转动电机(17)输出轴固定有齿轮(18)，且齿轮(18)与环形齿条(15)啮合连接，所述转台(1)上表面均匀开设有固定槽(3)，所述转台(1)侧面位于固定槽(3)对应位置开设有操作槽(12)，所述操作槽(12)顶部安装有气管(14)，且气管(14)远离操作槽(12)一端与固定槽(3)连通，所述固定槽(3)底部中心处设有橡胶吸头(4)，且橡胶吸头(4)与气管(14)端口固定连接，所述操作槽(12)内设有橡胶气囊(13)，且橡胶气囊(13)与气管(14)端口固定连接，所述安装台(5)上表面一侧转动安装有检测盒(2)，且检测盒(2)位于固定槽(3)正上方，所述检测盒(2)内部顶端转动安装有光路收集装置(7)和投射灯(8)，所述检测盒(2)下表面与安装台(5)上表面对应固定有磁铁片(16)。