[实用新型]加工装置有效
| 申请号： | 201821213842.5 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN208992450U | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 冈本典彦 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/07 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种加工装置，该加工装置具有卡盘，其用于保持基板；加工台，其保持所述卡盘；以及加工轴，所述加工轴包括：用于对基板加工的加工工具、用于驱动加工轴的电动机、用于保持电动机的电动机保持部、以及使电动机保持部升降的升降机构；所述加工装置的特征在于，在所述电动机上设置有用于将电动机安装到电动机保持部时使用的吊装部件或吊装部件安装部。 | ||
| 搜索关键词： | 加工装置 电动机保持部 电动机 加工轴 吊装部件 卡盘 本实用新型 电动机安装 加工工具 升降机构 对基板 加工台 基板 升降 驱动 加工 | ||
【主权项】：
1.一种加工装置，其具有：卡盘，其用于保持基板；加工台，其保持所述卡盘；以及加工轴；所述加工轴包括：用于对基板加工的加工工具、用于驱动所述加工工具的电动机、用于保持所述电动机的电动机保持部、以及使所述电动机保持部升降的升降机构；所述加工装置的特征在于，在所述电动机上设置有用于将所述电动机安装到所述电动机保持部时使用的吊装部件或吊装部件安装部。
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