[实用新型]加工装置

说明书

本实用新型提供一种加工装置，该加工装置具有卡盘，其用于保持基板；加工台，其保持所述卡盘；以及加工轴，所述加工轴包括：用于对基板加工的加工工具、用于驱动加工轴的电动机、用于保持电动机的电动机保持部、以及使电动机保持部升降的升降机构；所述加工装置的特征在于，在所述电动机上设置有用于将电动机安装到电动机保持部时使用的吊装部件或吊装部件安装部。

技术领域

本实用新型涉及一种加工装置，该加工装置对基板(例如晶圆)等被加工物进行磨削加工。

背景技术

在制作半导体元件的过程中，需要利用加工装置对作为被加工物的大致圆板形状的晶圆进行磨削，该加工装置中包括其用于保持基板的卡盘、安装有加工工具的加工轴以及用于保持所述卡盘、并使卡盘移动的加工台，其中，加工轴上安装有用于磨削的加工工具、驱动该加工工具进行旋转的电动机，以及保持该电动机的电动机保持部。

通常来说，加工装置中使用的电动机重量较大，在对加工轴进行组装的过程中，通过人力将电动机装入到电动机保持部的作业比较困难，特别是在通过人力安装时，电动机上缺少施力的部位，很难将电动机提升到所需的高度。此外，也考虑采用小型的起吊设备进行协助，但是电动机本身并不具有固定起吊设备的部位，需要绳索对于电动机绑定后再起吊，由此产生电动机吊起时的形态不固定、不便于安装，绳索的绑定容易脱落等问题。

例如，在专利文献1的加工装置中，加工轴上所设置的电动机上并不具有起吊时的固定部件，因此，在将该电动机向保持架装入时也存在上述的不便于安装的问题。另外，在加工装置中设置外框体的情况下，电动机在安装时需要吊起的高度更高，因此，进一步增加了安装的难度。

现有技术文献

专利文献1JP特开2014-200870A

实用新型内容

实用新型要解决的问题

本实用新型正是鉴于这种情况而完成的，其目的在于提供一种能够在将重量较大的电动机向电动机保持部安装时能够便于对电动机施力、或者说便于起吊设备与电动机之间进行固定的结构，从而解决现有技术中电动机的安装困难的问题。

用于解决问题的方案

本实用新型的第1技术方案的加工装置具有卡盘，其用于保持基板；加工台，其保持所述卡盘；以及加工轴，所述加工轴包括：用于对基板加工的加工工具、用于驱动加工轴的电动机、用于保持电动机的电动机保持部、以及使电动机保持部升降的升降机构；所述加工装置的特征在于，在所述电动机上设置有用于将电动机安装到电动机保持部时使用的吊装部件或吊装部件安装部。

基于第1技术方案的加工装置，通过在电动机上设置吊装部件，可以利用吊装部件对电动机施加吊起的力，从而便于将电动机安装到电动机保持部；此外，也可以在电动机上仅设置吊装部件安装部，在需要对电动机进行吊起作业时，将吊装部件安装到吊装部件安装部上，从而利用后续安装的吊装部件进行电动机的吊起作业。

本实用新型的第2技术方案的加工装置的特征在于：所述吊装部件或所述吊装部件安装部设置在电动机的上部。

基于第2技术方案的加工装置，能够尽量减少电动机本体对于吊装部件或起吊设备的干涉，方便进行吊起安装作业。

本实用新型的第3技术方案的加工装置的特征在于：所述吊装部件安装部设置在电动机的外壳体上。

基于第3技术方案的加工装置，能够尽量减少设置吊装部件对于电动机整体结构的改变，便于吊装部件向吊装部件安装部的安装作业。

本实用新型的第4技术方案的加工装置的特征在于：所述吊装部件安装部设置在固定部件上，所述固定部件设置于电动机的外壳体上。