[实用新型]激光刻蚀机有效
| 申请号： | 201821175171.8 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN208644400U | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 吴高华;段佳良;梁鹏飞 | 申请（专利权）人： | 廊坊西波尔钻石技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/082;B23K26/402;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟;谢湘宁 |
| 地址： | 065300 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种激光刻蚀机。激光刻蚀机，包括：机座；光路系统，所述光路系统包括激光器、相机、同轴光路组件、振镜以及场镜，所述同轴光路组件与所述激光器以及所述相机连接，所述振镜固定在所述同轴光路组件远离所述激光器的一端，所述场镜固定连接在所述振镜的底部；摆臂组件，所述摆臂组件安装在所述机座上以带动所述同轴光路组件摆动；工作台，所述工作台可移动地安装在所述机座上并位于所述场镜的底部。本实用新型能够避免机械损伤层的出现，不受材料导电性能的约束，能够进行精准、高效的整平和减薄。 | ||
| 搜索关键词： | 同轴光路 激光刻蚀机 激光器 场镜 机座 振镜 本实用新型 摆臂组件 光路系统 工作台 材料导电性能 可移动地安装 机械损伤层 相机连接 摆动 减薄 相机 | ||
【主权项】：
1.一种激光刻蚀机，其特征在于，包括：机座(10)；光路系统(20)，所述光路系统(20)包括激光器(21)、相机、同轴光路组件(22)、振镜(23)以及场镜(24)，所述同轴光路组件(22)与所述激光器(21)以及所述相机连接，所述振镜(23)固定在所述同轴光路组件(22)远离所述激光器(21)的一端，所述场镜(24)固定连接在所述振镜(23)的底部；摆臂组件(30)，所述摆臂组件(30)安装在所述机座(10)上以带动所述同轴光路组件(22)摆动；工作台(40)，所述工作台(40)可移动地安装在所述机座(10)上并位于所述场镜(24)的底部。
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