[实用新型]一种用于晶体生长设备下轴机构的密封装置有效
| 申请号： | 201821113418.3 | 申请日： | 2018-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN208748259U | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 刘景峰 | 申请（专利权）人： | 北京奇峰蓝达光学科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人： | 马知非 |
| 地址： | 101300*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种晶体生长设备下轴机构的密封装置，所述晶体生长设备包括炉体和设置在炉体下方的下轴，所述密封装置套设在所述下轴外，密封装置包括：用于套设在下轴外的波纹管；用于将所述波纹管的一端密封固定在所述炉体上的上法兰；和用于将波纹管的另一端密封固定在所述下轴底部的下法兰。本实用新型提供一种晶体生长设备下轴机构的密封装置，通过将波纹管套设在下轴外侧，当下轴上升时，不锈钢波纹管会由于压缩而变短；当下轴向下移动时，波纹管会由于拉伸而变长。由于下轴与密封装置之间没有机械摩擦，即使挥发物掉落到下轴上也不会与密封圈摩擦造成漏气，又由于不锈钢波纹管的可靠性和使用寿命长等特点，使得下轴机构的可靠性和稳定性得以大大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 下轴 晶体生长设备 下轴机构 波纹管 炉体 不锈钢波纹管 一端密封 挥发物 密封圈 本实用新型 波纹管套 机械摩擦 使用寿命 向下移动 上法兰 上升时 下法兰 掉落 漏气 拉伸 摩擦 压缩 | ||
【主权项】：
1.一种晶体生长设备下轴机构的密封装置，所述晶体生长设备包括炉体和设置在炉体下方的下轴，所述密封装置套设在所述下轴外，其特征在于，所述密封装置包括：用于套设在下轴外的波纹管；用于将所述波纹管的一端密封固定在所述炉体上的上法兰；和用于将波纹管的另一端密封固定在所述下轴底部的下法兰。
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