[实用新型]一种安全可靠的离子溅射仪

摘要

本实用新型公开了一种安全可靠的离子溅射仪，包括溅射仪主体，所述溅射仪主体的顶部一侧固定设置有溅射底座，所述溅射底座的边缘处固定设置有限位凹槽，所述溅射底座的顶部固定设置有溅射室，所述溅射室的外表面罩合有保护壳，所述保护壳的内表面底部边缘处设置有限位凸起；在该溅射仪的溅射室外表面设置有一层保护壳，因为溅射室为透明的玻璃结构，在使用时火车运输过程中容易发生磕碰，有可能导致溅射室发生开裂或者破碎，通过保护壳的作用提高了了该溅射仪的使用安全性，在该溅射仪主体的底部固定设置有一个缓冲底座，在使用该仪器时，搬运过程中，放置时有可能不注意，导致用力过大，对仪器的内部线路产生影响，提高了该仪器的使用寿命。

主权项

1.一种安全可靠的离子溅射仪，包括溅射仪主体（8），其特征在于：所述溅射仪主体（8）的顶部一侧固定设置有溅射底座（2），所述溅射底座（2）的边缘处固定设置有限位凹槽（10），所述溅射底座（2）的顶部固定设置有溅射室（7），所述溅射室（7）的外表面罩合有保护壳（1），所述保护壳（1）的内表面底部边缘处设置有限位凸起（11）。