[实用新型]分子束外延系统的双密封插板阀有效
| 申请号： | 201821076589.3 | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN208595247U | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 陈意桥;陈超;赵曼曼 | 申请（专利权）人： | 苏州焜原光电有限公司 |
| 主分类号： | F16K3/02 | 分类号： | F16K3/02;F16K3/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于电子元器件技术领域，涉及一种分子束外延系统的双密封插板阀，连接于低温泵与真空腔室之间，包括具有两个法兰接口的阀体、位于前一个法兰接口内的第一阀板和位于后一个法兰接口内的第二阀板，所述第一阀板和所述第二阀板在驱动装置的作用下分别独立动作，所述第一阀板或所述第二阀板关闭时都会将阀体的内腔完全隔断。本双密封插板阀相比单插板阀有更小的漏气风险，能够保证分子束外延系统在工作时的密封性。 | ||
| 搜索关键词： | 阀板 分子束外延系统 法兰接口 插板阀 双密封 阀体 本实用新型 电子元器件 单插板阀 独立动作 驱动装置 真空腔室 低温泵 密封性 漏气 隔断 内腔 保证 | ||
【主权项】：
1.一种分子束外延系统的双密封插板阀，连接于低温泵与真空腔室之间，其特征在于：包括具有两个法兰接口的阀体、位于前一个法兰接口内的第一阀板和位于后一个法兰接口内的第二阀板，所述第一阀板和所述第二阀板在驱动装置的作用下分别独立动作，所述第一阀板或所述第二阀板关闭时都会将阀体的内腔完全隔断。
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