[实用新型]一种用于具有Notch的晶圆的便捷式修边载具

摘要

本实用新型公开了一种用于具有Notch的晶圆的便捷式修边载具，包括载具和独立于所述载具的掩膜板；所述载具包括圆形底板，所述圆形底板的中部设置第一圆孔，围绕着所述第一圆孔设置有第二圆孔；所述圆形底板的侧壁围绕着圆周依次间隔设置有弧形定位块；在靠近所述圆形底板的侧壁且距离任意两个相邻的所述弧形定位块相等距离的位置设置Notch定位孔；所述掩膜板包括掩膜板内圈和掩膜板外圈，所述掩膜板外圈的直径和所述圆形底板的直径及具有Notch的晶圆的直径一致。本实用新型方便了具有Notch的晶圆的修边，将具有Notch的晶元放置于中心位置，经过边缘曝光使边缘一圈光刻胶硬化难以去除，同时保证胶面完好平整，解决后续电镀金属凸点出现高低不平的问题。

主权项

1.一种用于具有Notch的晶圆的便捷式修边载具，其特征在于，包括载具(1)和独立于所述载具(1)的掩膜板(2)；所述载具(1)包括圆形底板(3)，所述圆形底板(3)的中部设置第一圆孔(4)，围绕着所述第一圆孔(4)均匀设置有若干个第二圆孔(5)；所述圆形底板(3)的侧壁围绕着圆周依次间隔设置有若干个弧形定位块(6)；在所述圆形底板(3)上靠近所述圆形底板(3)的侧壁且距离任意两个相邻的所述弧形定位块(6)相等距离的位置设置Notch定位孔(7)；所述掩膜板(2)包括掩膜板内圈(8)和掩膜板外圈(9)，所述掩膜板外圈(9)的直径和所述圆形底板(3)的直径及具有Notch的晶圆(10)的直径一致。