[实用新型]一种掩模的固定装置和清洗治具有效
| 申请号： | 201821014060.9 | 申请日： | 2018-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN208328090U | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 董晴晴;黄秀颀;陆鹏 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩模的固定装置和清洗治具，该掩模的固定装置中包括固定底座，所述固定底座中包括至少一个用于放置掩模的目标区域，所述固定底座上设置有掩模的限位部件和卡扣部件，所述限位部件和所述卡扣部件合围形成所述目标区域；其中，所述卡扣部件与所述固定底座可相对运动设置，以控制所述掩模的安装与分离，通过上述组成结构的掩模的固定装置可以将掩模安装在固定底座上，还可以随时调整掩模的位置，操作过程简单，而且，掩模不易发生形变。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模 固定底座 固定装置 卡扣部件 目标区域 清洗治具 限位部件 本实用新型 操作过程 组成结构 合围 形变 | ||
【主权项】：
1.一种掩模的固定装置，其特征在于，所述掩模的固定装置中包括固定底座，所述固定底座中包括至少一个用于放置掩模的目标区域，所述固定底座上设置有掩模的限位部件和卡扣部件，所述限位部件和所述卡扣部件合围形成所述目标区域；其中，所述卡扣部件与所述固定底座可相对运动设置，以控制所述掩模的安装与分离。
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