[实用新型]一种Demura多轴全自动检测机构有效
| 申请号： | 201820996165.2 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN208607159U | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 罗军;龚四羊;乔洁 | 申请（专利权）人： | 武汉精测电子集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 黄行军 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种Demura多轴全自动检测机构，其包括机架和CCD相机，机架上设置有滑台模组，滑台模组的活动端连接有连接架，CCD相机连接于连接架下方；连接架与CCD相机之间由上至下依次设置有旋转承台机构、摆动滑台和齿轮对焦机构；齿轮对焦机构包括基座、第二驱动源、主动齿轮和从动齿轮；旋转承台机构、摆动滑台和CCD相机三者同轴布置。与传统Demura检测机构相比，本实用新型结构简单、使用方便，其可使CCD相机沿X轴、Y轴和Z轴方向位移，同时绕X轴、Y轴、Z轴转动，同时实现了全自动调节，且具有焦距调节机构，避免CCD相机沿Z轴方向调整幅度过大造成对焦不精确及损坏相机。 | ||
| 搜索关键词： | 连接架 本实用新型 对焦机构 滑台模组 旋转承台 摆动 齿轮 多轴 滑台 焦距调节机构 全自动调节 从动齿轮 方向调整 方向位移 同轴布置 依次设置 主动齿轮 活动端 驱动源 对焦 相机 | ||
【主权项】：
1.一种Demura多轴全自动检测机构，包括机架(1)和CCD相机(2)，所述机架(1)上设置有用于驱动所述CCD相机(2)沿水平X轴和Y轴移动的滑台模组(3)，所述滑台模组(3)的活动端连接有连接架(4)，所述CCD相机(2)连接于所述连接架(4)下方；其特征在于：所述连接架(4)与所述CCD相机(2)之间由上至下依次设置有用于驱动所述CCD相机(2)绕竖直Z轴旋转的旋转承台机构(5)、用于驱动所述CCD相机(2)绕水平X轴和Y轴旋转的摆动滑台(6)和用于调节所述CCD相机(2)焦距的齿轮调焦机构(7)；所述齿轮调焦机构(7)包括基座(7.1)、第二驱动源(7.2)、主动齿轮(7.3)和从动齿轮(7.4)；所述基座(7.1)固接于所述摆动滑台(6)下端，所述基座(7.1)上固接有所述CCD相机(2)和所述第二驱动源(7.2)，所述第二驱动源(7.2)的输出端与所述主动齿轮(7.3)固接，所述CCD相机(2)的调焦处固接有所述从动齿轮(7.4)，所述主动齿轮(7.3)和所述从动齿轮(7.4)啮合传动；所述旋转承台机构(5)、所述摆动滑台(6)和所述CCD相机(2)三者同轴布置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉精测电子集团股份有限公司，未经武汉精测电子集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820996165.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
