[实用新型]一种片盒检测装置有效
| 申请号： | 201820909981.5 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN208366266U | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 贾哲;张辉 | 申请（专利权）人： | 山东大海新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/30 | 分类号： | G01B5/30 |
| 代理公司： | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人： | 吴绍群 |
| 地址： | 257300 山东省东营市广*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种片盒检测装置，涉及半导体设备制造技术领域，能够解决因片盒变形而引发的撞篮故障。该片盒检测装置包括平台，该平台设置有竖直检测位和水平检测位。其中，竖直检测位与片盒的支撑板的突出部匹配，以便片盒竖直放置于平台上时，支撑板的突出部置于竖直检测位中，且支撑板与平台贴合；水平检测位与片盒的支撑杆匹配，以便片盒水平放置于平台上时，支撑杆置于水平检测位中，且与支撑杆相连的支撑板的一侧与平台贴合。本实用新型适用于对片盒是否变形进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 片盒 支撑板 水平检测 支撑杆 竖直 检测 本实用新型 片盒检测 突出部 贴合 匹配 变形 半导体设备制造 盒检测装置 平台设置 | ||
【主权项】：
1.一种片盒检测装置，其特征在于，所述片盒检测装置包括平台，所述平台设置有竖直检测位和水平检测位；所述竖直检测位与所述片盒的支撑板的突出部匹配，以便所述片盒竖直放置于所述平台上时，所述支撑板的突出部置于所述竖直检测位中，且所述支撑板与所述平台贴合；所述水平检测位与所述片盒的支撑杆匹配，以便所述片盒水平放置于所述平台上时，所述支撑杆置于所述水平检测位中，且与所述支撑杆相连的所述支撑板的一侧与所述平台贴合。
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