[实用新型]晶圆化学镍自动添加控制系统

摘要

本实用新型公开了一种晶圆化学镍自动添加控制系统，包括取样冷却预处理单元，取样测量单元、电器控制单元以及定量添加单元，通过取样泵将化学镀镍槽中的药液泵入取样冷却预处理系统进行冷却，使得抽取的药液能够维持在设定温度范围内进入pH值检测装置以及镍浓度检测装置，以实时反馈pH值和镍浓度值，电器控制单元能够根据反馈的pH值和镍浓度值实时控制计量泵向化学镀镍槽内泵入添加剂，以达到化学镀镍过程中药液消耗成分的及时补充。

主权项

1.一种晶圆化学镍自动添加控制系统，其特征在于：包括取样冷却预处理单元，取样测量单元、电器控制单元以及定量添加单元；所述取样冷却预处理单元包括换热器，所述换热器设置有换热管路用于流通从化学镀镍槽内被抽取的药液至所述取样测量单元；所述取样测量单元包括依次连通的过滤器、取样泵、消泡器、温控阀、pH值检测装置以及镍浓度检测装置；所述过滤器连通于所述换热管路，用于过滤被抽取的药液内的固体杂质；所述取样泵用于从所述化学镀镍槽内抽取药液；所述消泡器用于消除药液内的气泡；所述温控阀用于检测药液的温度并将检测到的温度信息传递至所述电器控制单元，以及用于接收电器控制单元的指令关闭或开启管路；所述pH值检测装置用于检测药液的pH值并将检测到的pH值数据传递至电器控制单元；所述镍浓度检测装置用于检测药液中镍离子的浓度值并将检测到的浓度值数据传递至电器控制单元；所述电器控制单元连接于所述取样泵、温控阀、pH值检测装置、镍浓度检测装置以及定量添加单元；用于控制取样泵的开启或关闭；用于接收温控阀传递的温度信息并且当温度高于预设值时控制所述温控阀关闭管路，以及当温度低于预设值后控制所述温控阀开启管路；用于接收pH值检测装置传递的pH值数据并且当pH值高于或低于预设值范围时控制所述定量添加单元向化学镀镍槽内添加调节pH值的添加剂；用于接收镍浓度检测装置传递的镍浓度值数据并且当镍浓度值高于或低于预设值范围时控制所述定量添加单元向化学镀镍槽内添加调节镍浓度值的添加剂；所述定量添加单元包括若干添加剂罐以及计量泵，每个所述计量泵与所述电器控制单元相连。