[实用新型]硅片花篮校正装置有效

专利信息
申请号: 201820871027.1 申请日: 2018-06-06
公开(公告)号: CN208497659U 公开(公告)日: 2019-02-15
发明(设计)人: 王会敏;张浩强;张立涛;史彪;郝雄超;韩青 申请(专利权)人: 邢台晶龙电子材料有限公司
主分类号: B29C53/16 分类号: B29C53/16;B29C53/84
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 谢茵
地址: 054001 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型提供了一种硅片花篮校正装置,属于硅片花篮修复技术领域,包括分别用于夹持花篮面板的两个夹持体、设于所述夹持体上的螺柱,以及连接两个所述螺柱用于调整两夹持体间距的连接杆;两个所述夹持体平行设置;所述连接杆与所述螺柱螺纹连接。本实用新型提供的硅片花篮校正装置,两个夹持体分别用于夹持花篮面板,使花篮两面板保持平行,连接杆用于调整两个夹持体的间距,进一步保证花篮的两个面板受力平衡,变形的花篮夹装该装置经过加热及冷却后,可恢复到原有形状。
搜索关键词: 夹持体 硅片花篮 花篮 校正装置 连接杆 本实用新型 夹持 螺柱 螺柱螺纹 平行设置 受力平衡 变形的 可恢复 两面板 夹装 加热 冷却 平行 修复 保证
【主权项】:
1.硅片花篮校正装置,其特征在于:包括分别用于夹持花篮面板的两个夹持体、设于所述夹持体上的螺柱,以及连接两个所述螺柱用于调整两夹持体间距的连接杆;两个所述夹持体平行设置;所述连接杆与所述螺柱螺纹连接。
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