[实用新型]硅片花篮校正装置有效
| 申请号： | 201820871027.1 | 申请日： | 2018-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN208497659U | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 王会敏;张浩强;张立涛;史彪;郝雄超;韩青 | 申请（专利权）人： | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B29C53/16 | 分类号： | B29C53/16;B29C53/84 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 谢茵 |
| 地址： | 054001 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 夹持体 硅片花篮 花篮 校正装置 连接杆 本实用新型 夹持 螺柱 螺柱螺纹 平行设置 受力平衡 变形的 可恢复 两面板 夹装 加热 冷却 平行 修复 保证 | ||
【权利要求书】：
1.硅片花篮校正装置，其特征在于：包括分别用于夹持花篮面板的两个夹持体、设于所述夹持体上的螺柱，以及连接两个所述螺柱用于调整两夹持体间距的连接杆；两个所述夹持体平行设置；所述连接杆与所述螺柱螺纹连接。
2.如权利要求1所述的硅片花篮校正装置，其特征在于：所述夹持体包括两个间隔设置的侧板，以及连接两侧板的顶板；所述顶板的宽度与花篮面板的宽度相同。
3.如权利要求2所述的硅片花篮校正装置，其特征在于：所述螺柱固定于其中一个侧板上，所述螺柱垂直于所述侧板设置。
4.如权利要求1所述的硅片花篮校正装置，其特征在于：所述连接杆的两端分别设有内螺纹孔；所述螺柱与所述内螺纹孔连接。
5.如权利要求4所述的硅片花篮校正装置，其特征在于：所述连接杆包括柱体，以及分别位于所述柱体两端的圆柱体；所述圆柱体的直径小于所述柱体的外径；所述内螺纹孔设于所述圆柱体上。
6.如权利要求5所述的硅片花篮校正装置，其特征在于：所述柱体上设有长方形孔；所述长方形孔与所述内螺纹孔连通。
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