[实用新型]半导体单晶炉热场吊装机构

摘要

本实用新型提供半导体单晶炉热场吊装机构，包括支架，支架包括底座、立柱，底座与立柱可拆卸连接；还包括三爪连杆机构，三爪连杆机构包括滑块以及三个连杆组；每个连杆组均包括第一连杆、第二连杆、第三连杆以及卡爪，第一连杆的上端与滑块铰接，第一连杆的中央与第二连杆的上端转动连接，第二连杆的下端与底座转动连接；第一连杆的下端与卡爪的中央转动连接，卡爪靠近立柱端与第三连杆的下端相连，第三连杆的上端与第二连杆的靠近第一连杆处转动连接；卡爪与第一连杆转动连接处的径向外侧为卡爪接触并支撑热场部件侧；还包括一驱动滑块沿着立柱上下运动的牵拉机构。本专利通过优化三爪连杆机构，便于实现对中空的热场部件的吊装，操作方便。

主权项

1.半导体单晶炉热场吊装机构，其特征在于，包括一支架，所述支架包括一底座、一立柱，所述底座与所述立柱可拆卸连接，所述立柱的上端与一吊环螺钉螺纹连接；还包括三爪连杆机构，所述三爪连杆机构包括一滑块以及三个连杆组；每个连杆组均包括第一连杆、第二连杆、第三连杆以及卡爪，所述第一连杆的上端与滑块铰接，所述第一连杆的中央与所述第二连杆的上端转动连接，所述第二连杆的下端与底座转动连接；所述第一连杆的下端与所述卡爪的中央转动连接，所述卡爪靠近所述立柱端与第三连杆的下端相连，所述第三连杆的上端与所述第二连杆的靠近第一连杆处转动连接；所述卡爪与所述第一连杆转动连接处的径向外侧的上表面覆盖有为一特氟龙制成的垫板，所述垫板的上表面为接触并支撑热场部件侧；还包括一用于对滑块进行限位的调节螺母，所述调节螺母与所述立柱螺纹连接，所述调节螺母位于所述滑块的下方；还包括一驱动滑块沿着所述立柱上下运动的牵拉机构，所述牵拉机构的上端部安装在所述立柱上。