[实用新型]一种便于基片翻转的真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 201820840749.0 申请日: 2018-06-01
公开(公告)号: CN208562508U 公开(公告)日: 2019-03-01
发明(设计)人: 俞秀杰 申请(专利权)人: 深圳市旭龙昇电子有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 深圳茂达智联知识产权代理事务所(普通合伙) 44394 代理人: 夏龙
地址: 518000 广东省深圳市龙华新区民治街道梅龙路与*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种便于基片翻转的真空镀膜机,包括底盘,所述底盘的顶部开设有电机槽,电机槽的一侧内壁上固定安装有驱动电机,驱动电机的输出轴上固定连接有转动杆,转动杆的顶端固定安装有放置盘,所述放置盘的外侧固定安装有多个均匀分布的固定块,固定块远离放置盘的一侧固定安装有固定杆的一端,所述固定杆的另一端固定安装有第一支撑柱,第一支撑柱的顶部开设有凹槽,凹槽的一侧内壁上固定安装有伺服电机,所述伺服电机的输出轴上固定连接有伸缩杆。本实用新型结构简单,操作方便,通过顶块和固定板的相配合,可以快速对基片进行翻转,提高了工作效率,且不会影响基片的镀膜质量,大大满足了使用者的需求。
搜索关键词: 翻转 放置盘 本实用新型 真空镀膜机 驱动电机 伺服电机 电机槽 固定杆 固定块 输出轴 支撑柱 转动杆 底盘 内壁 工作效率 影响基片 固定板 伸缩杆 顶块 镀膜 配合
【主权项】:
1.一种便于基片翻转的真空镀膜机,包括底盘(1),其特征在于,所述底盘(1)的顶部开设有电机槽(2),电机槽(2)的一侧内壁上固定安装有驱动电机(3),驱动电机(3)的输出轴上固定连接有转动杆(4),转动杆(4)的顶端固定安装有放置盘(5),所述放置盘(5)的外侧固定安装有多个均匀分布的固定块(6),固定块(6)远离放置盘(5)的一侧固定安装有固定杆(7)的一端,所述固定杆(7)的另一端固定安装有第一支撑柱(8),第一支撑柱(8)的顶部开设有凹槽(9),凹槽(9)的一侧内壁上固定安装有伺服电机(10),所述伺服电机(10)的输出轴上固定连接有伸缩杆(11),伸缩杆(11)的顶端延伸至凹槽(9)的外侧并固定安装有顶块(12),所述底盘(1)上固定安装有第二支撑柱(13),第二支撑柱(13)的顶端固定安装有轴承(14),轴承(14)上转动安装有转动块(15),转动块(15)的顶端固定安装有固定板(16),固定板(16)与顶块(12)相适配,所述固定板(16)的一侧固定安装有挑板(17),挑板(17)远离固定板(16)的一端延伸至放置盘(5)的顶部并与放置盘(5)相配合。
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