[实用新型]一种便于基片翻转的真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种便于基片翻转的真空镀膜机，包括底盘，所述底盘的顶部开设有电机槽，电机槽的一侧内壁上固定安装有驱动电机，驱动电机的输出轴上固定连接有转动杆，转动杆的顶端固定安装有放置盘，所述放置盘的外侧固定安装有多个均匀分布的固定块，固定块远离放置盘的一侧固定安装有固定杆的一端，所述固定杆的另一端固定安装有第一支撑柱，第一支撑柱的顶部开设有凹槽，凹槽的一侧内壁上固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴上固定连接有伸缩杆。本实用新型结构简单，操作方便，通过顶块和固定板的相配合，可以快速对基片进行翻转，提高了工作效率，且不会影响基片的镀膜质量，大大满足了使用者的需求。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤其涉及一种便于基片翻转的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，在真空镀膜的过程中，需要对产品进行翻面，实现对其上下表面均完成镀膜，因此需要在镀膜的过程中完成对用于固定产品的基片的翻转，而现有的真空镀膜机在完成了正面的镀膜后采用人工手动翻转的房子，导致工作效率低，而且影响产品的镀膜质量，为此我们提出一种便于基片翻转的真空镀膜机，以此来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种便于基片翻转的真空镀膜机。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种便于基片翻转的真空镀膜机，包括底盘，所述底盘的顶部开设有电机槽，电机槽的一侧内壁上固定安装有驱动电机，驱动电机的输出轴上固定连接有转动杆，转动杆的顶端固定安装有放置盘，所述放置盘的外侧固定安装有多个均匀分布的固定块，固定块远离放置盘的一侧固定安装有固定杆的一端，所述固定杆的另一端固定安装有第一支撑柱，第一支撑柱的顶部开设有凹槽，凹槽的一侧内壁上固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴上固定连接有伸缩杆，伸缩杆的顶端延伸至凹槽的外侧并固定安装有顶块，所述底盘上固定安装有第二支撑柱，第二支撑柱的顶端固定安装有轴承，轴承上转动安装有转动块，转动块的顶端固定安装有固定板，固定板与顶块相适配，所述固定板的一侧固定安装有挑板，挑板远离固定板的一端延伸至放置盘的顶部并与放置盘相配合。

优选的，所述第二支撑柱靠近放置盘的一侧固定安装有第一弹簧，第一弹簧远离第二支撑柱的一端固定安装于固定板的底部。

优选的，所述第二支撑柱远离固定板的一侧固定安装有第二弹簧，第二弹簧远离第二支撑柱的一端固定安装于固定板的底部，第二弹簧与第一弹簧相配合。

优选的，所述底盘的顶部开设有第一滑槽，放置盘的底部固定安装有两个第一滑块，两个第一滑块均滑动安装于第一滑槽内。

优选的，所述第一滑槽的两侧内壁上均开设有第一滑动槽，第一滑块的两侧内壁上均固定安装有第一滑动块，第一滑动块滑动安装于第一滑动槽内。

优选的，所述底盘的顶部开设有第二滑槽，第一支撑柱的底部固定安装有第二滑块，第二滑块滑动安装于第二滑槽内。

优选的，所述第二滑槽的两侧内壁上均开设有第二滑动槽，第二滑块的两侧内壁上均固定安装有第二滑动块，第二滑动块滑动安装于第二滑动槽内。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

（1）、本实用新型中，通过底盘、电机槽、驱动电机、转动杆、放置盘、固定块、固定杆、第一支撑柱和顶块的相配合，启动驱动电机，使得驱动电机带动转动杆转动，使得转动杆带动放置盘转动，放置盘带动固定块上的固定杆移动，固定杆带动第一支撑柱上的顶块移动；