[实用新型]一种柔性氮化物薄膜太阳能电池有效

专利信息
申请号: 201820832276.X 申请日: 2018-05-31
公开(公告)号: CN209087862U 公开(公告)日: 2019-07-09
发明(设计)人: 马亮 申请(专利权)人: 东泰高科装备科技(北京)有限公司
主分类号: H01L31/0445 分类号: H01L31/0445;H01L31/18
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 王莹;吴欢燕
地址: 102209 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型涉及光伏电池及其制造技术领域,尤其涉及一种柔性氮化物薄膜太阳能电池。该电池包括自下而上依次设置的支撑衬底、背电极、氮化物外延层和前电极,所述背电极包括第一预应力层。该制作方法通过在衬底晶圆的上表面制备具有第一预应力层的背电极,其中,背电极内设有第一预应力层;然后在背电极的上表面固定支撑衬底;通过机械剥离将所述氮化物外延层与牺牲层之间分离,并在分离后的所述氮化物外延层上依次制备前电极和抗反射层。该电池的吸收系数和能量转换率高、重量轻并可弯曲延展,其背电极能作为预应力强化层,既加固电池结构,又能在制备时提供足够大的剥离应力,且在电池制作完成后无需额外将预应力强化层清除。
搜索关键词: 背电极 氮化物外延层 预应力层 衬底 制备 氮化物薄膜 太阳能电池 电池 前电极 强化层 上表面 本实用新型 能量转换率 剥离应力 电池结构 固定支撑 光伏电池 机械剥离 抗反射层 吸收系数 依次设置 可弯曲 牺牲层 重量轻 晶圆 延展 制作 支撑 制造
【主权项】:
1.一种柔性氮化物薄膜太阳能电池,其特征在于,包括自下而上依次设置的支撑衬底、背电极、氮化物外延层和前电极,所述背电极包括第一预应力层。
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