[实用新型]一种柔性氮化物薄膜太阳能电池有效
申请号: | 201820832276.X | 申请日: | 2018-05-31 |
公开(公告)号: | CN209087862U | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
发明(设计)人: | 马亮 | 申请(专利权)人: | 东泰高科装备科技(北京)有限公司 |
主分类号: | H01L31/0445 | 分类号: | H01L31/0445;H01L31/18 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹;吴欢燕 |
地址: | 102209 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及光伏电池及其制造技术领域,尤其涉及一种柔性氮化物薄膜太阳能电池。该电池包括自下而上依次设置的支撑衬底、背电极、氮化物外延层和前电极,所述背电极包括第一预应力层。该制作方法通过在衬底晶圆的上表面制备具有第一预应力层的背电极,其中,背电极内设有第一预应力层;然后在背电极的上表面固定支撑衬底;通过机械剥离将所述氮化物外延层与牺牲层之间分离,并在分离后的所述氮化物外延层上依次制备前电极和抗反射层。该电池的吸收系数和能量转换率高、重量轻并可弯曲延展,其背电极能作为预应力强化层,既加固电池结构,又能在制备时提供足够大的剥离应力,且在电池制作完成后无需额外将预应力强化层清除。 | ||
搜索关键词: | 背电极 氮化物外延层 预应力层 衬底 制备 氮化物薄膜 太阳能电池 电池 前电极 强化层 上表面 本实用新型 能量转换率 剥离应力 电池结构 固定支撑 光伏电池 机械剥离 抗反射层 吸收系数 依次设置 可弯曲 牺牲层 重量轻 晶圆 延展 制作 支撑 制造 | ||
【主权项】:
1.一种柔性氮化物薄膜太阳能电池,其特征在于,包括自下而上依次设置的支撑衬底、背电极、氮化物外延层和前电极,所述背电极包括第一预应力层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的