[实用新型]半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构

摘要

本实用新型提供半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构，包括一旋转锁紧机构，旋转锁紧机构包括一设有外齿的固定环以及一设有内齿的旋转环，旋转锁紧机构通过外齿与内齿相抵或者错位进行锁紧或者松开；固定环安装在上炉筒的下端面上；还包括一旋转环安装机构，旋转环安装机构包括一定位环以及定位外环，定位环安装在隔离阀的上端，定位外环安装在定位环的上端，旋转环的外边缘设置在定位环与定位外环之间；定位外环上安装有至少四个用于支撑旋转环的定位滚轮，至少四个定位滚轮以定位外环的中心轴线为中心线呈环状排布，且所有的定位滚轮的外圆周均与旋转环外表面相抵。通过固定环与旋转环的相对转动进而实现锁紧与松开的调整，便于操作。

主权项

1.半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构，其特征在于，包括一旋转锁紧机构，所述旋转锁紧机构包括一设有外齿的固定环以及一设有内齿的旋转环，所述旋转锁紧机构通过外齿与内齿相抵或者错位进行锁紧或者松开；所述固定环安装在所述上炉筒的下端面上；还包括一旋转环安装机构，所述旋转环安装机构包括一定位环以及定位外环，所述定位环安装在隔离阀的上端，所述定位外环安装在所述定位环的上端，所述旋转环的外边缘设置在所述定位环与所述定位外环之间；当旋转锁紧机构处于锁紧状态下，所述外齿位于内齿正下方，当旋转锁紧机构处于松开状态下，所述外齿位于相邻内齿间隙的正下方；所述定位环、定位外环以及旋转环的中心轴线处于同一直线；所述定位外环上安装有至少四个用于支撑旋转环的定位滚轮，至少四个定位滚轮以所述定位外环的中心轴线为中心线呈环状排布，且所有的定位滚轮的外圆周均与所述旋转环外表面相抵；还包括一驱动旋转环以旋转环的中心轴线为旋转中心线进行转动的旋转驱动机构，所述旋转驱动机构与所述旋转环传动连接。