[实用新型]喷涂系统

摘要

本实用新型公开了一种喷涂系统，包括：密封舱体；喷枪，设置在密封舱体上，用于对工件进行喷涂操作；自动化控制系统，用于控制工件喷涂过程；其中，自动化控制系统包括气体检测装置，设置在密封舱体上，用于实时检测密封舱体内部的气体含量。上述喷涂系统设有自动化控制系统，能够对工件喷涂过程中的状态进行精确地控制，集成化程度较高，能够通过以太网实现自动化控制，保证喷涂系统的稳定运行。自动化控制系统中设有气体检测装置，能够实时检测密封舱体内部的气体含量，解决靶材旋转喷涂过程中气体含量无法控制的问题，确保溅射镀膜过程中的工件稳定性和一致性，使得工件内气体含量符合生产要求，以得到喷涂质量高的溅射镀膜靶材。

主权项

1.一种喷涂系统，其特征在于，包括：密封舱体；喷枪，设置在所述密封舱体上，所述喷枪具有朝向所述密封舱体内部的枪头，用于对工件进行喷涂操作；自动化控制系统，用于控制工件喷涂过程；其中，所述自动化控制系统包括气体检测装置，设置在所述密封舱体上，用于实时检测所述密封舱体内部的气体含量。