[实用新型]喷涂系统

说明书

本实用新型公开了一种喷涂系统，包括：密封舱体；喷枪，设置在密封舱体上，用于对工件进行喷涂操作；自动化控制系统，用于控制工件喷涂过程；其中，自动化控制系统包括气体检测装置，设置在密封舱体上，用于实时检测密封舱体内部的气体含量。上述喷涂系统设有自动化控制系统，能够对工件喷涂过程中的状态进行精确地控制，集成化程度较高，能够通过以太网实现自动化控制，保证喷涂系统的稳定运行。自动化控制系统中设有气体检测装置，能够实时检测密封舱体内部的气体含量，解决靶材旋转喷涂过程中气体含量无法控制的问题，确保溅射镀膜过程中的工件稳定性和一致性，使得工件内气体含量符合生产要求，以得到喷涂质量高的溅射镀膜靶材。

技术领域

本实用新型涉及喷涂技术领域，特别是涉及一种喷涂系统。

背景技术

喷涂工艺能够实现对靶材进行溅射镀膜的目的，以得到符合工业需求的溅射镀膜靶材。随着工业发展的需求，溅射镀膜靶材的质量要求也越来越高，因此，在喷涂过程中，需要严格控制靶材的气体含量。

传统的喷涂系统，一般将靶材放置在车床上，利用大气等离子在大气环境下进行旋转喷涂生产。或者，在对靶材进行溅射镀膜的过程中使用高真空舱室，充入惰性气体进行反应镀膜。

但是，在喷涂过程中，靶材内的气体含量无法控制，从而影响溅射镀膜的正常操作，容易造成跳靶、溅射膜层色差、溅射功率不稳定以及靶材溅射使用不均匀等后果。

实用新型内容

基于此，有必要针对在喷涂过程中，靶材内的气体含量无法控制的问题，提供一种喷涂系统。

一种喷涂系统，包括：密封舱体；喷枪，设置在所述密封舱体上，所述喷枪具有朝向所述密封舱体内部的枪头，用于对工件进行喷涂操作；自动化控制系统，用于控制工件喷涂过程；其中，所述自动化控制系统包括气体检测装置，设置在所述密封舱体上，用于实时检测所述密封舱体内部的气体含量。

上述喷涂系统设有自动化控制系统，能够对工件喷涂过程中的状态进行精确地控制，集成化程度较高，能够通过以太网实现自动化控制，保证喷涂系统的稳定运行。自动化控制系统中设有气体检测装置，能够实时检测密封舱体内部的气体含量，例如氮气、氧气等，解决靶材旋转喷涂过程中气体含量无法控制的问题，确保溅射镀膜过程中的工件稳定性和一致性，使得工件内气体含量符合生产要求，以得到喷涂质量高的溅射镀膜靶材。

在其中一个实施例中，所述密封舱体内部设有进气管道，所述进气管道用于补充惰性气体；所述密封舱体内部还设有除尘风管，所述除尘风管连接至除尘器。

上述进气管道用于补充惰性气体来控制密封舱体内部的气体含量；除尘风管连接至除尘器，用于将喷涂过程中产生的杂质和未融化的粉末及时清理干净，保证密封舱体所需要的工作环境。

在其中一个实施例中，所述密封舱体内部设有抽风管道，所述抽风管道连接至所述气体检测装置。

上述密封舱体内部设有抽风管道，抽风管道连接至气体检测装置，能够抽取密封舱体内部的气体，提供给气体检测装置，进行气体含量的检测，从而判断密封舱体内的气体含量是否需要进行调整，结合进气管道补充的惰性气体和除尘管道除去的杂尘、粉末等控制密封舱体内部的气体含量大小。

在其中一个实施例中，所述自动化控制系统设有触摸屏和控制箱，所述触摸屏和控制箱安装在所述密封舱体外部的支架上。

上述触摸屏可以被操作人员直接根据生产要求进行操控，通过控制箱连接以太网控制自动化控制系统，实现智能化，并简化了操作系统。

在其中一个实施例中，所述密封舱体包括拆卸舱、与所述拆卸舱连接的工作舱、与所述工作舱连接的移动舱，且所述拆卸舱、工作舱、移动舱的中心线处于同一水平线；其中，所述喷枪设置在所述工作舱上，所述气体检测装置设置在所述移动舱上。