[实用新型]一种防粘锅断锭的条形坩埚有效
申请号: | 201820780670.3 | 申请日: | 2018-05-24 |
公开(公告)号: | CN208776872U | 公开(公告)日: | 2019-04-23 |
发明(设计)人: | 武东伟;贡益;陈伟 | 申请(专利权)人: | 江阴东升新能源股份有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 赵海波;孙燕波 |
地址: | 214426 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种防粘锅断锭的条形坩埚,它包括长条形的坩埚本体(1),所述坩埚本体(1)包括底板(11)和四个侧板(12),所述底板(11)和四个侧板(12)形成储料腔(2),所述储料腔(2)内壁上在硅料熔化后液面高度位置处涂覆有一圈第一氮化硅涂层(3),储料腔(2)的其余内壁上涂覆有第二氮化硅涂层(4)。本实用新型一种防粘锅断锭的条形坩埚,它在坩埚内硅料熔化后液面高度位置处通过毛刷涂覆第一氮化硅涂层,涂层致密性较热喷涂方式大大提高,能够有效抵抗硅料熔化热对流冲击,防止涂层产生脱落,从而造成硅锭粘埚断锭。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 氮化硅涂层 储料腔 防粘锅 硅料 涂覆 底板 熔化 本实用新型 高度位置 坩埚本体 侧板 后液 内壁 涂层致密性 涂层产生 长条形 热喷涂 熔化热 硅锭 毛刷 对流 抵抗 | ||
【主权项】:
1.一种防粘锅断锭的条形坩埚,其特征在于:它包括长条形的坩埚本体(1),所述坩埚本体(1)包括底板(11)和四个侧板(12),所述底板(11)和四个侧板(12)形成储料腔(2),所述储料腔(2)内壁上在硅料熔化后液面高度位置处涂覆有一圈第一氮化硅涂层(3),储料腔(2)的其余内壁上涂覆有第二氮化硅涂层(4)。
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