[实用新型]一种热处理装置及显影机有效
| 申请号： | 201820766013.3 | 申请日： | 2018-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN208210333U | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王伟佳 | 申请（专利权）人： | 苏州能讯高能半导体有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/02 | 分类号： | H05B3/02;H05B1/02;G03G15/08 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种热处理装置及显影机，涉及半导体设备技术领域。热处理装置包括机体、热板及吹气组件，所述机体内设置有腔室，其特征在于，所述腔室具有开口；所述热板设置于所述腔室内；所述吹气组件包括喷头，所述喷头设置于所述腔室内，且所述喷头与所述腔室的开口分别位于热板相对的两侧。热处理装置通过设置吹气组件，且吹气组件的喷头和腔室的开口位于热板相对的两侧，即喷头由内向外吹气，气流经过热板并与热板换热后，将热板的热量带出腔室外，从而加快了热板的冷却速率，从而提高不同的热处理工艺的切换效率，提高显影机的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 热板 喷头 热处理装置 吹气组件 腔室 显影机 开口 半导体设备 本实用新型 热处理工艺 室内 喷头设置 生产效率 由内向外 热量带 出腔 吹气 换热 冷却 室外 | ||
【主权项】：
1.一种热处理装置，包括：机体(1)，所述机体(1)内设置有腔室(11)，其特征在于，所述腔室(11)具有开口；热板(2)，所述热板(2)设置于所述腔室(11)内；吹气组件(3)，所述吹气组件(3)包括喷头(33)，所述喷头(33)设置于所述腔室(11)内，且所述喷头(33)与所述腔室(11)的开口分别位于所述热板(2)相对的两侧。
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