[实用新型]一种全息光栅光刻系统

摘要

本实用新型属于光学技术领域，涉及一种全息光栅光刻系统，为解决制作平行等间距条纹全息光栅时曝光光束平行度差的技术问题，使用体布拉格光栅‑1级透射衍射效率作为平行光的判断标准，可以较为精确的确定针孔滤波器与准直透镜之间的距离，准确的将针孔滤波器的小孔放置在准直透镜的物方焦点上，从而实现干涉光路的准直；此外该系统有助于实现对曝光光束平行性的实时监控，配合PZT平移台还可以实现对平行光的锁定，从而提高了平行等间距条纹的全息光栅的拍摄质量。

主权项

1.一种全息光栅光刻系统，所述的全息光栅光刻系统用于制作平行等间距条纹的全息光栅；该光刻系统包括相干光源、分束器、第一反射镜，第二反射镜，第一光阑，第二光阑，第一针孔滤波器，第二针孔滤波器，第一准直透镜，第二准直透镜；第一体布拉格光栅、第二体布拉格光栅、第一光电探测器、第二光电探测器；相干光源发出的光经过分束器后被分成透射光路和反射光路；沿着光传播方向反射光路上依次放置第一反射镜、第一光阑、第一针孔滤波器、第一准直透镜；透射光路上依次放置第二反射镜、第二光阑、第二针孔滤波器、第二准直透镜；反射光路经过第一准直透镜后的光作为第一曝光光束，透射光路经过第二准直透镜后的光作为第二曝光光束；其特征在于：以靠近相干光源端为前，光传播方向为后；第一准直透镜的后方放置第一体布拉格光栅，所述的第一体布拉格光栅口径小于第一准直透镜口径，且第一曝光光束入射至第一体布拉格光栅的入射角等于第一体布拉格光栅的布拉格角，第一光电探测器放置在第一曝光光束入射至第一体布拉格光栅后的‑1级透射衍射光路上，用于测量其‑1级透射衍光的衍射效率；第二准直透镜的后方放置第二体布拉格光栅，所述的第二体布拉格光栅口径小于第二准直透镜口径，且第二曝光光束入射至第二体布拉格光栅的入射角等于第二体布拉格光栅的布拉格角，第二电探测器放置在第二曝光光束入射至第二体布拉格光栅后的‑1级透射衍射光路上，用于测量其‑1级透射衍光的衍射效率；第一针孔滤波器放置于第一准直透镜的物方焦点处；第二针孔滤波器放置于第二准直透镜的物方焦点处。