[实用新型]一种靶材有效

专利信息
申请号: 201820762425.X 申请日: 2018-05-21
公开(公告)号: CN208562506U 公开(公告)日: 2019-03-01
发明(设计)人: 王云能 申请(专利权)人: 米亚索乐装备集成(福建)有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35
代理公司: 北京尚伦律师事务所 11477 代理人: 毛宏宝
地址: 362000 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型是关于一种靶材。该靶材包括:背衬管;形成于背衬管的外表面的靶材体;其中,靶材体包括:两个端段和中间段;其中,所述端段的第一靶材厚度大于所述中间段的第二靶材厚度。该技术方案增加了靶材体的端段的厚度,延长靶材在使用过程中的消耗时长,从而防止靶材体两端先耗光,提高靶材的利用率。
搜索关键词: 靶材 端段 背衬管 中间段 本实用新型 时长 消耗
【主权项】:
1.一种靶材,其特征在于,包括:背衬管;形成于所述背衬管的外表面的靶材体;其中,所述靶材体包括:两个端段和中间段;其中,所述端段的第一靶材厚度大于所述中间段的第二靶材厚度。
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