[实用新型]一种靶材有效
| 申请号： | 201820762425.X | 申请日： | 2018-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN208562506U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 王云能 | 申请（专利权）人： | 米亚索乐装备集成（福建）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京尚伦律师事务所 11477 | 代理人： | 毛宏宝 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶材 端段 背衬管 中间段 本实用新型 时长 消耗 | ||
【权利要求书】：
1.一种靶材，其特征在于，包括：
背衬管；
形成于所述背衬管的外表面的靶材体；
其中，所述靶材体包括：两个端段和中间段；其中，所述端段的第一靶材厚度大于所述中间段的第二靶材厚度。
2.根据权利要求1所述的靶材，其特征在于，所述靶材体还包括：
位于所述两个端段和所述中间段之间的过渡段，其中，所述过渡段的靶材厚度沿中轴的方向从所述第一靶材厚度逐渐减小到所述第二靶材厚度；所述过渡段、中间段和端段的材料都相同。
3.根据权利要求1所述的靶材，其特征在于，所述靶材还包括：
形成于所述背衬管和所述靶材体之间的粘结层；
其中，所述粘结层的材料粘度大于所述靶材体的材料粘度，所述粘结层和所述靶材体的材料成分相同，但材料成分配比不同。
4.根据权利要求3所述的靶材，其特征在于，所述靶材还包括：
形成于靶材体与粘结层之间的起始层；
其中，所述起始层的材料与所述靶材体的材料相同，但所述起始层和所述靶材体的制备工艺不同。
5.根据权利要求2所述的靶材，其特征在于，所述过渡段的斜度的范围在3-30°之间。
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