[实用新型]一种带有电子制冷功能的压电变形镜有效
申请号: | 201820741094.1 | 申请日: | 2018-05-18 |
公开(公告)号: | CN208224596U | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
发明(设计)人: | 李文来;马剑强;彭泰然;喻奇志;李艳;杨宗峰 | 申请(专利权)人: | 宁波大学 |
主分类号: | G02B26/00 | 分类号: | G02B26/00 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人: | 徐晓琴 |
地址: | 315211 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型属于光学器件技术领域,具体涉及一种带有电子制冷功能的压电变形镜。所述压电变形镜包括驱动层、镜面层、半导体制冷片和冷却室,所述驱动层为环形结构的压电片,压电片的两侧覆盖有电极层,所述驱动层粘接在镜面层的外侧构成压电变形镜本体,所述镜面层的中央无压电片覆盖的区域镀有高反射膜,所述镀有高反射膜的区域为工作区域,所述镜面层的另一侧与冷却室粘结固定形成密封的腔体,腔体内设有半导体制冷片,通过半导体制冷片通电降温使镜面层冷却。本实用新型所述压电变形镜带有电子制冷功能,可以保护压电变形镜不受热损坏,有效降低热膨胀系数不匹配造成的热变形,提高了校正质量;本实用新型所述压电变形镜结构简单、方便制作。 | ||
搜索关键词: | 变形镜 压电 镜面层 半导体制冷片 本实用新型 电子制冷 驱动层 压电片 高反射膜 冷却室 热膨胀系数 工作区域 光学器件 环形结构 粘结固定 受热 电极层 热变形 覆盖 腔体 校正 粘接 密封 匹配 冷却 通电 体内 制作 | ||
【主权项】:
1.一种带有电子制冷功能的压电变形镜,其特征在于,包括驱动层、镜面层、半导体制冷片和冷却室,所述驱动层为环形结构的压电片,压电片的两侧覆盖有电极层,所述驱动层粘接在镜面层的外侧构成压电变形镜本体,所述镜面层的中央无压电片覆盖的区域镀有高反射膜,所述镀有高反射膜的区域为工作区域,所述镜面层的另一侧与冷却室粘结固定形成密封的腔体,腔体内设有半导体制冷片,通过半导体制冷片通电降温使镜面层冷却。
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