[实用新型]一种晶圆研磨头及化学机械研磨机

摘要

本实用新型提供一种晶圆研磨头，应用于化学机械研磨机，其中化学机械研磨机内设置研磨垫，包括研磨头本体上连接通气管路；连接环，与研磨头本体连接，连接环的内边缘设置第一螺纹；第一固定环与连接环连接，与通气管路相通形成一固定晶圆的腔体，第一固定环的外边缘的上部分设置与第一螺纹相匹配的第二螺纹；第二固定环，设置于第一固定环的外边缘的下部分，第二固定环的底部与第一固定环的底部相持平。有益效果在于：通过增加第二固定环，使得第一固定环的保持力均匀，不会发生变形，有效延长第一固定环的使用寿命，并且使得晶圆研磨头的研磨速率更加稳定，同时增加连接环，采用螺纹匹配的方式固定第一固定环，通过旋转的方式便于安装和拆卸。

主权项

1.一种晶圆研磨头，应用于化学机械研磨机，其特征在于，所述化学机械研磨机内设置研磨垫，所述晶圆研磨头进一步包括：一研磨头本体，所述研磨头本体上连接通气管路；一连接环，与所述研磨头本体连接，所述连接环的内边缘设置第一螺纹；一第一固定环，与所述连接环连接，与所述通气管路相通，形成一固定晶圆的腔体，所述第一固定环的外边缘的上部分设置与所述第一螺纹相匹配的第二螺纹；一第二固定环，设置于所述第一固定环的外边缘的下部分，所述第二固定环的底部与所述第一固定环的底部相持平。