[实用新型]一种晶圆研磨头及化学机械研磨机

说明书

本实用新型提供一种晶圆研磨头，应用于化学机械研磨机，其中化学机械研磨机内设置研磨垫，包括研磨头本体上连接通气管路；连接环，与研磨头本体连接，连接环的内边缘设置第一螺纹；第一固定环与连接环连接，与通气管路相通形成一固定晶圆的腔体，第一固定环的外边缘的上部分设置与第一螺纹相匹配的第二螺纹；第二固定环，设置于第一固定环的外边缘的下部分，第二固定环的底部与第一固定环的底部相持平。有益效果在于：通过增加第二固定环，使得第一固定环的保持力均匀，不会发生变形，有效延长第一固定环的使用寿命，并且使得晶圆研磨头的研磨速率更加稳定，同时增加连接环，采用螺纹匹配的方式固定第一固定环，通过旋转的方式便于安装和拆卸。

技术领域

本实用新型涉及化学机械研磨技术领域，尤其涉及一种晶圆研磨头及化学机械研磨机。

背景技术

在大规模集成电路的制造领域中，化学机械研磨工艺是一个复杂的工艺过程，它是将晶圆表面与研磨垫的研磨表面接触，然后，通过晶圆表面与研磨垫的摩擦使原来凹凸不平的晶圆表面变得平坦。化学机械研磨的主要部件有研磨头、固定环、研磨台、研磨垫、研磨液供给装置、修整盘以及清洗装置等。

在晶圆研磨头研磨的过程中，固定环是更换的消费品之一，并且在长时间的研磨过程中，固定环的应力会产生偏差，甚至会发生变形，进而影响研磨头的研磨速率；为了更换固定环，需要将研磨头从化学机械研磨机上卸下来，将研磨头分解，使得安装拆卸工序复杂，进一步影响研磨工艺的效率。

发明内容

针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种晶圆研磨头及化学机械研磨机。

具体技术方案如下：

一种晶圆研磨头，应用于化学机械研磨机，其中，所述化学机械研磨机内设置研磨垫，所述晶圆研磨头进一步包括：

一研磨头本体，所述研磨头本体上连接通气管路；

一连接环，与所述研磨头本体连接，所述连接环的内边缘设置第一螺纹；

一第一固定环，与所述连接环连接，与所述通气管路相通，形成一固定晶圆的腔体，所述第一固定环的外边缘的上部分设置与所述第一螺纹相匹配的第二螺纹；

一第二固定环，设置于所述第一固定环的外边缘的下部分，所述第二固定环的底部与所述第一固定环的底部相持平。

优选的，所述连接环的内径与所述第一固定环的外径相同。

优选的，所述第二固定环的内径与所述第一固定环的外径相同。

优选的，所述第一螺纹与所述第二螺纹的数量相同。

优选的，所述腔体内设置一载具，所述载具与所述通气管路相通以形成一充气系统。

优选的，所述载具上固定一弹性膜，所述弹性膜上设置复数个通孔。

优选的，所述载具为管状结构，由聚氨酯或橡胶材料制成。

一种化学机械研磨机，其中包括上述所述的晶圆研磨头。

本实用新型的技术方案有益效果在于：通过增加第二固定环，使得第一固定环的保持力均匀，不会发生变形，有效延长第一固定环的使用寿命，并且使得晶圆研磨头的研磨速率更加稳定，同时增加连接环，采用螺纹匹配的方式固定第一固定环，通过旋转的方式便于安装和拆卸。

附图说明

图1为本实用新型中，关于晶圆研磨头的整体结构示意图。

具体实施方式