[实用新型]一种用于镀膜的可移动靶座结构有效

专利信息
申请号: 201820646862.5 申请日: 2018-05-03
公开(公告)号: CN208577777U 公开(公告)日: 2019-03-05
发明(设计)人: 孙交锴;陈汉泉;夏海全;田祖进;张平 申请(专利权)人: 广东鼎泰高科精工科技有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34
代理公司: 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 代理人: 潘俊达
地址: 523000 广东省东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型属于镀膜设备的技术领域,具体涉及一种用于镀膜的可移动靶座结构,包括镀膜腔室(3)、靶座(4)、驱动装置(1)和移动装置(2),所述靶座(4)设置于所述驱动装置(1)的输出端,所述驱动装置(1)通过所述移动装置(2)与所述镀膜腔室(3)连接。通过靶座运动的时间和距离控制镀膜的厚度,缩短了连续镀膜机的腔室长度,使连续镀膜设备维修保养的成本下降,同时降低工厂的能耗,并且更加节能和环保。实用新型针对产品在镀膜腔室内做直线往返运动的缺点,采用靶座做直线往返运动,有效缩短连续镀膜机的腔室长度,减少连续镀膜设备的成本,还使整个工厂的使用面积更加有效利用,提高了生产镀膜产品的效率。
搜索关键词: 靶座 驱动装置 镀膜 连续镀膜设备 直线往返运动 连续镀膜机 镀膜腔室 移动装置 本实用新型 节能和环保 镀膜产品 镀膜设备 距离控制 维修保养 镀膜腔 输出端 能耗 室内 生产
【主权项】:
1.一种用于镀膜的可移动靶座结构,其特征在于:包括镀膜腔室(3)、靶座(4)、驱动装置(1)和移动装置(2),所述靶座(4)设置于所述驱动装置(1)的输出端,所述驱动装置(1)通过所述移动装置(2)与所述镀膜腔室(3)连接,所述移动装置(2)包括凹轮(21)、凸带(22)和第一电机(23),所述凹轮(21)设置于所述驱动装置(1)的底部,所述凸带(22)布置在所述镀膜腔室(3)的底部,且所述凸带(22)连接于所述第一电机(23)的输出端,所述凹轮(21)与所述凸带(22)配合连接;所述移动装置(2)包括齿轮(210)、链条(220)和第二电机(230),所述齿轮(210)设置于所述驱动装置(1)的底部,所述链条(220)布置在所述镀膜腔室(3)的底部,且所述链条(220)连接于所述第二电机(230)的输出端,所述齿轮(210)与所述链条(220)配合连接;所述移动装置(2)包括凸轮(2100)、凹带(2200)和第三电机(2300),所述凸轮(2100)设置于所述驱动装置(1)的底部,所述凹带(2200)布置在所述镀膜腔室(3)的底部,且所述凹带(2200)连接于所述第三电机(2300)的输出端,所述凸轮(2100)与所述凹带(2200)配合连接。
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