[实用新型]掩膜条及掩膜板有效
| 申请号： | 201820591199.3 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN208266250U | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 刘明星;王徐亮;甘帅燕;高峰 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种掩膜条及掩膜板，该掩膜条包括本体，所述本体上设置有蒸镀区及两组过渡区，两组过渡区分别沿本体延伸方向相对设置，蒸镀区位于两组过渡区之间，每组过渡区内均设置有多个刻蚀图形，且每组过渡区内的刻蚀图形关于第一中心线轴对称分布，两组过渡区内的刻蚀图形关于与第一中心线垂直的第二中心线对称分布，且每个刻蚀图形均包括应力分散部，应力分散部具有向远离第二中心线方向凸伸的弧形边。上述掩膜条中，通过多个应力分散部分解本体被拉伸时产生的内力。应力分散部的弧形边向远离第二中心线的方向凸出，而掩膜条为了抵抗变形产生的内力指向第二中心线，并在弧形边处被分散减弱，减弱拉伸掩膜条时产生褶皱的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜条 刻蚀图形 两组 应力分散部 过渡区 弧形边 内力 拉伸 蒸镀 褶皱 中心线垂直 中心线对称 中心线方向 对称分布 方向相对 应力分散 中心线轴 凸出 掩膜板 凸伸 掩膜 变形 指向 抵抗 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜条，其特征在于，包括：本体，所述本体具有第一中心线和第二中心线，所述第一中心线和所述第二中心线均为所述本体的中线，且所述第一中心线与所述本体的延伸方向平行，所述第二中心线与所述第一中心线垂直；设置于所述本体上的蒸镀区及两组过渡区，两组所述过渡区分别沿所述本体的延伸方向相对设置，所述蒸镀区位于两组所述过渡区之间；其中，每组所述过渡区内均设置有多个刻蚀图形，且每组所述过渡区内的所述刻蚀图形关于第一中心线轴对称分布，两组所述过渡区内的所述刻蚀图形关于所述第二中心线对称分布；所述刻蚀图形包括应力分散部，所述应力分散部具有向远离所述第二中心线方向凸起的弧形边。
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