[实用新型]蒸发源的蒸发速率控制设备有效
| 申请号： | 201820591025.7 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN208501091U | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 王晓尉 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种蒸发源的蒸发速率控制设备。设备包括相连接的控制器和在线采集仪；在线采集仪用于采集基板的镀膜参数，并将所述镀膜参数发送至所述控制器；所述控制器，用于根据接收的镀膜参数生成加热功率调整量，并基于所述加热功率调整量对蒸发源的蒸发速率进行控制。本实用新型实施例提供的设备可以控制蒸发源的蒸发速率。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发源 镀膜参数 蒸发 控制器 加热功率调整 速率控制设备 本实用新型 在线采集 采集基板 发送 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源的蒸发速率控制设备，其特征在于，包括：相连接的控制器和在线采集仪；在线采集仪用于采集基板的镀膜参数，并将所述镀膜参数发送至所述控制器；所述控制器，用于根据接收的镀膜参数生成加热功率调整量，并基于所述加热功率调整量对蒸发源的蒸发速率进行控制。
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