[实用新型]一种用于蒸镀设备中的遮挡装置及蒸镀设备

摘要

本实用新型公开一种用于蒸镀设备中的遮挡装置及蒸镀设备，遮挡装置包括遮挡部件和磁驱动结构，磁驱动结构包括滑动组件、第一磁体、第二磁体和驱动器；蒸镀设备包括上述的遮挡装置。在驱动遮挡部件运动时，驱动器先驱动第二磁体运动，由于第二磁体与第一磁体相互面对的一端极性相反，第二磁体运动时带动第一磁体运动，进而带动滑动组件和遮挡部件在蒸镀腔体内运动，以实现将遮挡部件移动到蒸镀腔体内加热器的顶部开口上或从该顶部开口移走。由于第一磁体与第二磁体分别位于蒸镀室内外，二者形成无接触的驱动方式，无需在蒸镀室壁面上开设通孔，从而避免在蒸镀室上开设通孔所导致的漏真空问题，使得蒸镀腔体内的真空能够保持在相对恒定的状态。

主权项

1.一种用于蒸镀设备中的遮挡装置，其特征在于，包括遮挡部件(1)，设置在蒸镀腔体内；磁驱动结构，以磁吸附的方式驱动所述遮挡部件(1)在所述蒸镀腔体内运动；其包括设置在所述蒸镀腔体内且与所述遮挡部件(1)固定连接的滑动组件(21)，固定在所述滑动组件(21)上的第一磁体(22)，设置在所述蒸镀腔体外且与所述第一磁体(22)相对的第二磁体(23)，以及驱动所述第二磁体(23)运动的驱动器(24)；所述第一磁体(22)与所述第二磁体(23)相互面对的一端极性相反。