[实用新型]液滴靶生成装置及其温度控制系统有效
| 申请号： | 201820565865.6 | 申请日： | 2018-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN208077022U | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 张立佳;张理垟;郭馨;王岩庆;范元媛;李慧;吴晓斌;齐月静;周翊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院;中国石油大学（北京） |
| 主分类号： | G05D23/19 | 分类号： | G05D23/19;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 郎志涛 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及温度控制系统技术领域，具体涉及一种液滴靶生成装置及其温度控制系统。本实用新型旨在解决液滴靶生成装置温度稳定差的技术问题。为此目的，本实用新型提供的一种温度控制系统包括依次连接的压缩机、冷凝器、节流装置和蒸发器，蒸发器设置于换热室内，用于对换热室内的流体降温，温度控制系统还包括流通管，流通管的第一端与换热室连通，流通管的第二端与用于冷却液滴靶生成装置的冷却装置连通，其中，流通管上设置有与控制器连接的流量调节阀，控制器通过流量调节流入冷却装置的流体流量。本实用新型通过控制器和流量调节阀调节流入冷却装置的流体流量，通过不同的流体流量调节液滴靶生成装置的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 温度控制系统 生成装置 本实用新型 流通管 冷却装置 液滴 流量调节阀 流体流量 控制器 蒸发器 连通 流体流量调节 室内 控制器连接 节流装置 流量调节 温度稳定 依次连接 第一端 换热室 冷凝器 冷却液 压缩机 对换 换热 流体 种液 | ||
【主权项】：
1.一种用于液滴靶生成装置的温度控制系统，其特征在于，所述温度控制系统包括依次连接的压缩机、冷凝器、节流装置和蒸发器，所述蒸发器设置于换热室内，所述换热室内储存有与所述蒸发器进行热交换的流体，所述温度控制系统还包括流通管，所述流通管的第一端与所述换热室连通，所述流通管的第二端与用于冷却液滴靶生成装置的冷却装置连通，所述换热室内的流体能够通过所述流通管流入所述冷却装置对所述液滴靶生成装置降温，其中，所述流通管上设置有与控制器连接的流量调节阀，所述控制器通过所述流量调节阀调节流入所述冷却装置的流体流量，通过不同的流体流量调节所述液滴靶生成装置的温度。
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