[实用新型]一种用于氮化硅粉体合成的微波等离子预热器有效

专利信息
申请号: 201820530239.3 申请日: 2018-04-13
公开(公告)号: CN208139854U 公开(公告)日: 2018-11-23
发明(设计)人: 任小平 申请(专利权)人: 浙江东瓷新材料有限公司
主分类号: F27D13/00 分类号: F27D13/00;C01B21/068
代理公司: 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 代理人: 尉伟敏
地址: 317300 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及氮化硅制备领域,公开了一种用于氮化硅粉体合成的微波等离子预热器,包括氮气管道(100)、第一喷射器(101)、微波等离子火炬(102)、第二喷射器(103)、预热器壳体(104)和盘管(105);所述第一喷射器上设有硅粉添加口(106),所述氮气管道的出料端延伸进入第一喷射器内,第一喷射器的出料端与第二喷射器连接;所述微波等离子火炬设于第二喷射器内;所述盘管设于预热器壳体内,且第二喷射器的出料端与盘管的进料端连接,盘管的出料端延伸出预热器壳体外并与用于合成氮化硅的悬浮反应器(1)连接。本实用新型的微波等离子预热器能耗低、使用寿命长,且能够充分利用物料和能量,环保节能。
搜索关键词: 喷射器 微波等离子 出料端 盘管 预热器 本实用新型 氮化硅粉体 预热器壳体 氮气管道 合成 氮化硅 火炬 悬浮反应器 环保节能 使用寿命 预热器壳 进料端 添加口 延伸 硅粉 制备 能耗 体内
【主权项】:
1.一种用于氮化硅粉体合成的微波等离子预热器,其特征在于:包括氮气管道(100)、第一喷射器(101)、微波等离子火炬(102)、第二喷射器(103)、预热器壳体(104)和盘管(105);所述第一喷射器上设有硅粉添加口(106),所述氮气管道的出料端延伸进入第一喷射器内,第一喷射器的出料端与第二喷射器连接;所述微波等离子火炬设于第二喷射器内;所述盘管设于预热器壳体内,且第二喷射器的出料端与盘管的进料端连接,盘管的出料端延伸出预热器壳体外并与用于合成氮化硅的悬浮反应器(1)连接。
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