[实用新型]一种掩膜板对位拍照装置有效

专利信息
申请号: 201820516905.8 申请日: 2018-04-12
公开(公告)号: CN208076923U 公开(公告)日: 2018-11-09
发明(设计)人: 江洪全 申请(专利权)人: 深圳市劲拓自动化设备股份有限公司
主分类号: G03F9/00 分类号: G03F9/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 李海建
地址: 518000 广东省深圳市宝安区西乡*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种掩膜板对位拍照装置,包括水平调节平台以及设置于该水平调节平台上的纵向调节座,所述纵向调节座上可沿竖直方向移动地设置有纵向直线模组,所述纵向直线模组上设置有与所述治具配合的掩膜板;还包括至少两个分别设置于所述纵向调节座两侧的对位拍照组件以及与所述对位拍照组件配合的同轴光源。该掩膜板对位拍照装置能够提高定位拍照精度,以提高掩膜板的转印效果和产品质量。
搜索关键词: 掩膜板 对位 纵向调节座 拍照装置 拍照 水平调节 纵向直线 模组 竖直方向移动 本实用新型 同轴光源 转印效果 组件配合 治具 配合
【主权项】:
1.一种掩膜板对位拍照装置,其特征在于:包括水平调节平台以及设置于该水平调节平台上的纵向调节座,所述纵向调节座上可沿竖直方向移动地设置有纵向直线模组,所述纵向直线模组上设置有与治具配合的掩膜板;还包括至少两个分别设置于所述纵向调节座两侧的对位拍照组件以及与所述对位拍照组件配合的同轴光源。
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