[实用新型]微丝制备装置有效

专利信息
申请号: 201820498358.5 申请日: 2018-04-10
公开(公告)号: CN208136337U 公开(公告)日: 2018-11-23
发明(设计)人: 刘喜川;杨毅;朱晔;余斌 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: C23F1/08 分类号: C23F1/08
代理公司: 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 代理人: 张汉钦
地址: 621900 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 一种微丝制备装置,包括防抖动放丝单元和蚀刻单元,防抖动放丝单元的底座上设置放丝基座、收紧立柱、平衡基座,放丝基座、平衡基座包括转轴、轴套、盘丝部、感应部,收紧立柱的顶部具有横梁,横梁通过弹性丝悬挂有走轮,走轮压在放丝基座、平衡基座之间的钨丝上,感应部检测钨丝的弯折角达到预定程度时降低转轴的转速;蚀刻单元包括安装在基座上的反应器主体、位于反应器主体上方的自动喷液部件、以及位于反应器主体下方的回收部件,反应器主体具有多个纵向延伸的导液齿,各个导液齿之间具有在高度方向延伸的导液槽,平衡基座上的钨丝绷直后两端分别固定在立壁上并且整体横向穿过卡槽,回收系统具有多个分支管,各个分支管分别对准每个导液槽。
搜索关键词: 反应器主体 平衡基座 钨丝 蚀刻 制备装置 导液槽 防抖动 分支管 感应部 横梁 导液 立柱 微丝 转轴 走轮 高度方向延伸 回收部件 回收系统 整体横向 自动喷液 弹性丝 盘丝部 弯折角 卡槽 立壁 轴套 底座 对准 穿过 悬挂 检测
【主权项】:
1.一种微丝制备装置,其特征在于:包括:防抖动放丝单元,所述的防抖动放丝单元包括底座(1),所述的底座(1)上设置有放丝基座(2)、收紧立柱(3)、平衡基座(4),所述的放丝基座(2)、平衡基座(4)包括以预定转速转动的转轴(5)、固定套设于所述的转轴(5)的轴套(6)、一体形成于所述的轴套(6)上的盘丝部(7)、设置在所述的转轴(5)端部的感应部(8),所述的盘丝部(7)上饶设有钨丝(16),所述的感应部(8)包括具有卡槽的感应套(9),所述的感应套(9)的卡槽内绕设有阻力线(10),所述的阻力线(10)的底端通过卡扣方式连接有吊坠(11),所述的放丝基座(2)在转动放丝时施加反向力,所述的平衡基座(4)的吊坠(11)在转动放丝时施加同向力,所述的轴套(6)上一体形成有定位孔(12),所述的收紧立柱(3)的顶部具有横梁(13),所述的横梁(13)通过弹性丝(14)悬挂有走轮(15),所述的走轮(15)压在放丝基座(2)、平衡基座(4)之间的钨丝(16)上,所述的放丝基座(2)、平衡基座(4)的感应部(8)检测钨丝(16)的弯折角达到预定程度时降低转轴(5)的转速;蚀刻单元,所述的蚀刻单元包括基座(19)、安装在所述的基座(19)上的反应器主体(20)、位于所述的反应器主体(20)上方的自动喷液部件(21)、以及位于所述的反应器主体(20)下方的回收部件(26),所述的基座(19)包括位于横向两端的立壁(22)、位于中部的支撑框(23),所述的立壁(22)垂直于所述的基座(19)设置,所述的反应器主体(20)安装在支撑框(23)上,所述的反应器主体(20)具有多个纵向延伸的导液齿(24),各个导液齿(24)之间具有在高度方向延伸的导液槽(25),各个导液齿(24)在与立壁(22)对应高度处设置开口从而整体形成一个沿横向延伸的卡槽(28),所述的平衡基座(4)上的钨丝(16)绷直后两端分别固定在立壁(22)上并且整体横向穿过卡槽(28),所述的回收部件(26)具有多个分支管(27),各个分支管(27)分别对准每个所述的导液槽(25)。
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