[实用新型]一种曲面反光镜的调节机架有效
申请号: | 201820479979.9 | 申请日: | 2018-04-08 |
公开(公告)号: | CN208351243U | 公开(公告)日: | 2019-01-08 |
发明(设计)人: | 张博;孙文俊;许厚吉 | 申请(专利权)人: | 河南百合特种光学研究院有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 新乡市平原智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 41139 | 代理人: | 杨杰 |
地址: | 453000 河南*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种曲面反光镜的调节机架,包括支架和转轴,支架的顶部固定连接有顶板,顶板的下表面固定连接有固定板,固定板的一侧活动连接有调节板,调节板的一侧开设有竖直滑槽,竖直滑槽的内壁活动连接有第一螺栓,第一螺栓的外表面套接有垫片,竖直滑槽的一侧设置有开设在调节板侧面的水平滑槽,转轴的外表面套接有曲面镜,转轴两端的外表面均螺纹连接有螺母,调节板的一侧螺纹连接有第二螺栓。本实用新型通过设置固定板、调节板、螺母、竖直滑槽、第一螺栓、上固定块、下固定块和螺杆,解决了曲面镜的角度不可调,影响曝光光束准直度和均匀度,曲面镜的角度不可调,降低了曝光机工作效率的问题。 | ||
搜索关键词: | 调节板 螺栓 竖直滑槽 固定板 曲面镜 螺母 本实用新型 活动连接有 曲面反光镜 螺纹连接 外表面套 支架 转轴 工作效率 曝光光束 上固定块 水平滑槽 下固定块 转轴两端 均匀度 曝光机 下表面 准直度 垫片 螺杆 内壁 侧面 | ||
【主权项】:
1.一种曲面反光镜的调节机架,包括支架(1)和转轴(4),其特征在于:所述支架(1)的顶部固定连接有顶板(2),所述顶板(2)的下表面固定连接有固定板(3),所述固定板(3)的一侧活动连接有调节板(5),所述调节板(5)的一侧开设有竖直滑槽(6),所述竖直滑槽(6)的内壁活动连接有第一螺栓(7),所述第一螺栓(7)的外表面套接有垫片(8),所述竖直滑槽(6)的一侧设置有开设在调节板(5)侧面的水平滑槽(13),所述转轴(4)的外表面套接有曲面镜(10),所述转轴(4)两端的外表面均螺纹连接有螺母(9),所述调节板(5)的一侧螺纹连接有第二螺栓(11),所述调节板(5)通过第二螺栓(11)固定连接有上固定块(12),所述固定板(3)的一侧固定连接有下固定块(16),所述下固定块(16)的一侧开设有凹槽(17),所述凹槽(17)的内壁设置有螺纹销(18),所述上固定块(12)的底部螺纹连接有螺杆(15),所述螺杆(15)的顶部贯穿并延伸至上固定块(12)的内部,所述螺杆(15)的底部贯穿并延伸至下固定块(16)的底部,所述螺杆(15)的底部固定连接有把手(19)。
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